[發(fā)明專利]熱硬化性著色組合物及彩色濾光片的制造方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201780006978.0 | 申請(qǐng)日: | 2017-01-11 |
| 公開(公告)號(hào): | CN108474880B | 公開(公告)日: | 2021-01-12 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 日岐憲司;井本知宏;高橋聡 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 東洋油墨SC控股株式會(huì)社;東洋色材株式會(huì)社;凸版印刷株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | G02B5/20 | 分類號(hào): | G02B5/20;C08L63/00;G03F7/42 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205 | 代理人: | 李艷;臧建明 |
| 地址: | 日本東京中央?yún)^(qū)京橋二丁目*** | 國(guó)省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 化性 著色 組合 彩色 濾光 制造 方法 | ||
1.一種熱硬化性著色組合物,其用于固體攝像元件用彩色濾光片的制造,所述固體攝像元件用彩色濾光片包括對(duì)著色層通過干式蝕刻進(jìn)行圖案化而成的著色圖案,所述熱硬化性著色組合物的特征在于:
包含顏料(A)、分散劑(B)、熱硬化性化合物(C)及溶劑(D),
所述顏料(A)在所述熱硬化性著色組合物的總固體成分中所占的比例為50質(zhì)量%以上,且所述分散劑(B)包含具有酸性官能基的分散劑(b1),所述具有酸性官能基的分散劑(b1)具有將包括(甲基)丙烯酸酯的乙烯性不飽和單體聚合而成的部位(b1-A),所述部位(b1-A)的玻璃化溫度的理論值為40℃以上,且所述熱硬化性化合物(C)包含山梨糖醇的縮水甘油醚化環(huán)氧化合物。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱硬化性著色組合物,其特征在于,所述顏料(A)含有綠色顏料(a1)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱硬化性著色組合物,其特征在于,所述綠色顏料(a1)含有選自顏料綠7、顏料綠36及顏料綠58中的至少一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的熱硬化性著色組合物,其特征在于,所述溶劑(D)包含沸點(diǎn)為160℃以上的溶劑(d1)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱硬化性著色組合物,其特征在于,所述沸點(diǎn)為160℃以上的溶劑(d1)為環(huán)己醇乙酸酯。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的熱硬化性著色組合物,其特征在于,所述酸性官能基為芳香族羧基。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的熱硬化性著色組合物,其特征在于,所述部位(b1-A)的玻璃化溫度的理論值為80℃以上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的熱硬化性著色組合物,其特征在于,所述分散劑(B)還包含具有堿性官能基的分散劑(b2)。
9.一種固體攝像元件用彩色濾光片的制造方法,其特征在于包括:使用根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的熱硬化性著色組合物來形成著色層的步驟X、及對(duì)所述著色層通過干式蝕刻而進(jìn)行圖案化的步驟Y。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的固體攝像元件用彩色濾光片的制造方法,其特征在于,所述形成著色層的步驟X包括:形成包含所述熱硬化性著色組合物的涂膜的步驟X-1、以及使所述涂膜熱硬化而獲得所述著色層的步驟X-2,
所述通過干式蝕刻而進(jìn)行圖案化的步驟Y包括:在所述著色層上形成光致抗蝕劑層的步驟Y-1、通過曝光及顯影而對(duì)所述光致抗蝕劑層進(jìn)行圖案化以獲得抗蝕劑圖案的步驟Y-2、通過將所述抗蝕劑圖案用作蝕刻掩模的干式蝕刻,對(duì)所述著色層進(jìn)行圖案化以形成著色圖案的步驟Y-3、及使剝離液與所述抗蝕劑圖案接觸以自所述著色圖案去除所述抗蝕劑圖案的步驟Y-4。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的固體攝像元件用彩色濾光片的制造方法,其特征在于,所述剝離液包含選自由N-甲基吡咯烷酮、二甲基亞砜及單乙醇胺所組成的群組中的至少一者。
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