[發(fā)明專利]載置構(gòu)件

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780006720.0
• 申請(qǐng)日: 2017-01-10
• 公開（公告）號(hào): CN108463878A
• 公開（公告）日: 2018-08-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 增田將太郎;市川智昭;前野洋平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日東電工株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;B65G49/07;C01B32/152;C01B32/158;H01L21/677
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

提供抓持力(gripping force)及耐熱性優(yōu)異、并且低起塵性優(yōu)異、不易污染被載置物的載置構(gòu)件。本發(fā)明的載置構(gòu)件為載置面由碳納米管的集合體構(gòu)成的載置構(gòu)件，在硅晶圓上以碳納米管集合體側(cè)表面接觸該硅晶圓的方式放置該載置構(gòu)件，從該載置構(gòu)件上方施加100g的載荷并放置30秒時(shí)，轉(zhuǎn)印至該硅晶圓的直徑0.2μm以上的顆粒的數(shù)量為100個(gè)/cm²以下。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及載置構(gòu)件。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體元件等的制造工序中，在輸送材料、制造中間品、制品等(以下，也稱為被加工物)時(shí)，使用移動(dòng)臂、移動(dòng)工作臺(tái)等輸送基材進(jìn)行該被加工物的輸送(例如，參照專利文獻(xiàn)1、2)。進(jìn)行這樣的輸送時(shí)，對(duì)載置被加工物的構(gòu)件(載置構(gòu)件)要求被加工物在輸送中不偏移這樣的強(qiáng)的抓持力。另外，隨著制造工序高速化的要求，這樣的要求逐年增高。

但是，以往的載置構(gòu)件由樹脂等彈性材料構(gòu)成，存在該彈性材料容易附著殘留于被加工物、污染被加工物這樣的問題。另外，由樹脂等彈性材料構(gòu)成的載置構(gòu)件存在耐熱性低、在高熱環(huán)境下其抓持力會(huì)降低的問題。

若使用陶瓷等材料作為載置構(gòu)件，則能防止被加工物的污染，并且抓持力的溫度依賴性變低。但是，由這種材料構(gòu)成的載置構(gòu)件存在本質(zhì)上抓持力低、即使在常溫下也不能充分保持被加工物的問題。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2001-351961號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2013-138152號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問題

本發(fā)明的課題在于，提供抓持力及耐熱性優(yōu)異、并且低起塵性優(yōu)異、不易污染被載置物的載置構(gòu)件。

用于解決問題的方案

本發(fā)明的載置構(gòu)件為載置面由碳納米管的集合體構(gòu)成的載置構(gòu)件，在硅晶圓上以碳納米管集合體側(cè)表面接觸該硅晶圓的方式該載置構(gòu)件，從該載置構(gòu)件上方施加100g的載荷并放置30秒時(shí)，轉(zhuǎn)印至該硅晶圓的直徑0.2μm以上的顆粒的數(shù)量為9000個(gè)/cm²以下。

1個(gè)實(shí)施方式中，本發(fā)明的載置構(gòu)件包含基材，上述碳納米管的集合體固定于該基材。

1個(gè)實(shí)施方式中，上述碳納米管的直徑的平均值為1nm～800nm。

1個(gè)實(shí)施方式中，上述碳納米管的包含前端的部分被無機(jī)材料覆蓋。

1個(gè)實(shí)施方式中，本發(fā)明的載置構(gòu)件用于半導(dǎo)體部件的輸送。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠提供抓持力及耐熱性優(yōu)異、并且低起塵性優(yōu)異、不易污染被載置物的載置構(gòu)件。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的1個(gè)實(shí)施方式的載置構(gòu)件的示意截面圖。

圖2為本發(fā)明的另一實(shí)施方式的載置構(gòu)件的示意截面圖。

圖3為本發(fā)明的1個(gè)實(shí)施方式的碳納米管集合體的制造裝置的示意截面圖。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明的載置構(gòu)件包含碳納米管集合體。碳納米管集合體構(gòu)成載置構(gòu)件的載置面。碳納米管集合體具有良好的粘合性(摩擦性)，能夠良好地保持置于載置構(gòu)件上的被載置物。

A.載置構(gòu)件