[實用新型]CMP不銹鋼快速拋光設備有效
| 申請號： | 201721928191.3 | 申請日： | 2017-12-21 |
| 公開（公告）號： | CN207788605U | 公開（公告）日： | 2018-08-31 |
| 發明（設計）人： | 呂鴻圖 | 申請（專利權）人： | 昆山納諾新材料科技有限公司 |
| 主分類號： | B24B29/02 | 分類號： | B24B29/02;B24B27/00;C23F3/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 傳送皮帶 拋光頭 機械拋光 頂部設置 化學拋光 拋光設備 不銹鋼 液壓伸縮桿 擋板 驅動電機 傳動桿 萬向軸 轉動軸 套桿 本實用新型 一體化成型 傳動連接 頂端連接 兩側設置 內部設置 拋光效果 嵌套連接 整體效率 倒齒 貫穿 | ||
1.CMP不銹鋼快速拋光設備，包括機械拋光室(3)以及化學拋光室(14)，其特征在于：所述機械拋光室(3)以及所述化學拋光室(14)的底部均設置有傳送皮帶，所述機械拋光室(3)以及所述化學拋光室(14)之間通過傳送皮帶傳動連接，所述傳送皮帶的左側設置有轉動軸(1)，所述轉動軸(1)與所述傳送皮帶嵌套連接，所述傳送皮帶的頂部設置有擋板(2)，所述擋板(2)與所述傳送皮帶一體化成型，所述機械拋光室(3)的內部設置有拋光頭(6)，所述拋光頭(6)采用鎢鋼材料制作而成，所述拋光頭(6)的底部兩側設置有矩形倒齒(8)，所述拋光頭(6)的頂部設置有萬向軸(7)，所述萬向軸(7)的中間位置設置有液壓伸縮桿(5)，所述液壓伸縮桿(5)與所述萬向軸(7)之間通過螺栓固定連接，所述液壓伸縮桿(5)的頂部設置有套桿(4)，所述套桿(4)的頂端連接到驅動電機，所述拋光頭(6)與所述驅動電機之間通過傳動桿相連，所述傳動桿貫穿設置于所述拋光頭(6)的內部。
2.根據權利要求1所述的CMP不銹鋼快速拋光設備，其特征在于：所述拋光頭(6)的數量為四個，所述拋光頭(6)呈兩列水平設置。
3.根據權利要求1所述的CMP不銹鋼快速拋光設備，其特征在于：所述化學拋光室(14)的內部設置有一對基座(10)，所述基座(10)的底部設置有接觸座(11)，所述接觸座(11)以及所述基座(10)的內部均設置有拋光液輸送管(9)。
4.根據權利要求1所述的CMP不銹鋼快速拋光設備，其特征在于：所述化學拋光室(14)的底部設置有旋轉座(13)，所述旋轉座(13)頂部設置有若干墊片(12)，所述墊片(12)采用聚四氟乙烯材料制作而成。
5.根據權利要求4所述的CMP不銹鋼快速拋光設備，其特征在于：所述旋轉座(13)呈螺旋狀，所述旋轉座(13)的頂部設置有進料口(16)。
6.根據權利要求5所述的CMP不銹鋼快速拋光設備，其特征在于：所述旋轉座(13)的右側設置有出料口(15)，所述進料口(16)以及所述出料口(15)之間的高度差為30cm。
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