[實用新型]一種探測器面板

有效

• 申請號: 201721918158.2
• 申請日: 2017-12-29
• 公開（公告）號: CN207851315U
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發明（設計）人: 程丙勛;周作興;金利波
• 申請（專利權）人: 上海奕瑞光電子科技股份有限公司
• 主分類號: G01T7/00
• 分類號: G01T7/00;G01T1/20
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

本實用新型提供一種探測器面板，所述探測器面板至少包括：玻璃基板、形成于所述玻璃基板表面的反射膜層、以及形成于所述反射膜層表面的TFT非晶硅感光像素陣列；從所述TFT非晶硅感光像素陣列透過的可見光，通過所述反射膜層的反射作用，由所述TFT非晶硅感光像素陣列重新吸收。本實用新型探測器面板中的所述反射膜層既可以使像素陣列沒有完全吸收的透射光反射回來重新吸收，即消除了在所述玻璃基板內的傳輸吸收發散，而且完全避免了反射光會被其他相鄰像素吸收的可能，從而提高探測器檢測效率和圖像質量。

技術領域

本實用新型涉及X射線平板探測器領域，特別是涉及一種探測器面板。

背景技術

在X射線平板探測器行業，非晶硅探測器面板是最為核心的部件，其基板材料為透明的玻璃材料，因為非晶硅層本身的吸收能力有限，約有5-10％左右的閃爍層發出的可見光沒有被吸收而直接透射后損失掉了。

透射過去的光含有被測物體的信息，降低了探測器的探測效率，因此需要考慮充分利用起來。

TFT玻璃面板可見光傳輸路線示意圖如圖1所示，從X光入射到TFT玻璃面板上的閃爍體層中，由閃爍體層把X光轉化成入射可見光1后，被TFT非晶硅感光像素陣列2吸收，由于TFT非晶硅感光像素陣列2吸收不完全，加之像素與像素之間有縫隙等原因，大約有5-10％左右的帶有被測物體信號的可見光透射到玻璃基板3的另一面成為透射光4后損失掉了，影響了探測器的檢出效率，性能下降。

為了把從玻璃基板3透射的光4利用上，大部分采用的手段是在玻璃基板3背面貼反射膜層5，如圖2所示；

背面采用反射膜層5的方案可以使透射的光4大部分反射回去形成反射光6再利用，用這種方案依然存在以下問題：

1、由于透過的可見光需要經過玻璃基板的入射和反射的吸收，也損失了一部分光強，

2、透射過去的光反射后由于玻璃基板厚度差，導致反射光的方向發生了改變，反射光也會被另外相鄰的像素吸收，導致信號失真，影響了圖像的清晰度。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種探測器面板，用于解決現有技術中探測器存在光損失和光發散而導致信號失真、圖像不清晰的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種探測器面板，所述探測器面板至少包括：玻璃基板、形成于所述玻璃基板表面的反射膜層、以及形成于所述反射膜層表面的TFT非晶硅感光像素陣列；從所述TFT非晶硅感光像素陣列透過的可見光，通過所述反射膜層的反射作用，由所述TFT非晶硅感光像素陣列重新吸收。

作為本實用新型探測器面板的一種優化的結構，所述反射膜層包括形成于所述玻璃基板表面的金屬反射層和形成于所述金屬反射層表面的絕緣層。

作為本實用新型探測器面板的一種優化的結構，所述金屬反射層的厚度介于幾納米至1μm之間。

作為本實用新型探測器面板的一種優化的結構，所述金屬反射層的厚度介于10～500nm之間。

作為本實用新型探測器面板的一種優化的結構，所述金屬反射層的材質包括Al、Ag、Cu中的一種或多種的組合。

作為本實用新型探測器面板的一種優化的結構，所述絕緣層的厚度介于10nm-1000nm之間。

作為本實用新型探測器面板的一種優化的結構，所述絕緣層包括氮化硅或者氧化硅。