[實用新型]一種探測器面板有效
| 申請號： | 201721918158.2 | 申請日： | 2017-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN207851315U | 公開（公告）日： | 2018-09-11 |
| 發明（設計）人： | 程丙勛;周作興;金利波 | 申請（專利權）人： | 上海奕瑞光電子科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01T7/00 | 分類號： | G01T7/00;G01T1/20 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 201201 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探測器面板 反射膜層 感光像素陣列 非晶硅 吸收 本實用新型 玻璃基板 玻璃基板表面 探測器檢測 可見光 反射作用 相鄰像素 像素陣列 反射光 透射光 發散 反射 圖像 傳輸 | ||
【權利要求書】：
1.一種探測器面板，其特征在于，所述探測器面板至少包括：玻璃基板、形成于所述玻璃基板表面的反射膜層、以及形成于所述反射膜層表面的TFT非晶硅感光像素陣列；從所述TFT非晶硅感光像素陣列透過的可見光，通過所述反射膜層的反射作用，由所述TFT非晶硅感光像素陣列重新吸收。
2.根據權利要求1所述的探測器面板，其特征在于：所述反射膜層包括形成于所述玻璃基板表面的金屬反射層和形成于所述金屬反射層表面的絕緣層。
3.根據權利要求2所述的探測器面板，其特征在于：所述金屬反射層的厚度介于幾納米至1μm之間。
4.根據權利要求3所述的探測器面板，其特征在于：所述金屬反射層的厚度介于10～500nm之間。
5.根據權利要求2所述的探測器面板，其特征在于：所述金屬反射層的材質包括Al、Ag、Cu中的一種或多種的組合。
6.根據權利要求2所述的探測器面板，其特征在于：所述絕緣層的厚度介于10～1000nm之間。
7.根據權利要求2所述的探測器面板，其特征在于：所述絕緣層包括氮化硅或者氧化硅。
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