[實(shí)用新型]一種可尋址測試芯片測試系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721911051.5
• 申請日: 2017-12-30
• 公開（公告）號: CN207742296U
• 公開（公告）日: 2018-08-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭鍇;楊慎知;陸梅君;藍(lán)帆;成家柏
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州廣立微電子有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 杭州豐禾專利事務(wù)所有限公司 33214
• 代理人: 李久林

本實(shí)用新型公開了一種可尋址測試芯片測試系統(tǒng)，包括測試儀器、探針卡及可尋址測試芯片，測試儀器與可尋址測試芯片通過探針卡相連并構(gòu)成測試通路，可尋址測試芯片包括尋址電路、開關(guān)電路、若干待測器件和若干引腳，尋址電路與開關(guān)電路配合以選定指定的待測器件；探針卡上集成有多用地址寄存器，該多用地址寄存器可根據(jù)外部信號的變化實(shí)現(xiàn)計數(shù)器或移位器的功能；測試儀器包括一個開關(guān)矩陣模塊、一個函數(shù)發(fā)生器、第一源測量單元、第二源測量單元、第三源測量單元和至少三個用于對待測器件并行測試的第四源測量單元。本實(shí)用新型具有性能穩(wěn)定且能快速尋址的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及芯片測試設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種可尋址測試芯片測試系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中，集成電路測試是貫穿集成電路生產(chǎn)與應(yīng)用全過程的重要步驟。在不斷變化的產(chǎn)品環(huán)境中，測試可以對工藝流程進(jìn)行嚴(yán)格監(jiān)控，起著評估工藝成熟度、篩選產(chǎn)品以及改善工藝的重要的作用，是最重要的提高芯片良品率的統(tǒng)計方法。

傳統(tǒng)集成電路芯片及晶圓測試中，采用探針卡作為測量橋梁，通過探針卡把測試儀和待測器件連接起來，探針卡上的探針直接與待測器件上的引腳接觸構(gòu)成測試信號通路，再配合測試儀器與軟件控制達(dá)到自動化量測的目的。這種測試系統(tǒng)需要移動待測器件或探針卡，此過程會涉及到移動時間、探針清洗時間等，導(dǎo)致測試效率非常低。隨著摩爾定律逐步逼近極限，集成電路單個芯片或單個晶圓中包含的電學(xué)器件數(shù)量的急劇增長，使用上述傳統(tǒng)測試方法測試的劣勢更加明顯。目前解決這一問題的常用做法是為待測器件配置一個可尋址電路，該裝置可以與待測器件相連接。

可尋址電路中的地址信號是由外部電學(xué)設(shè)備提供的行走信號經(jīng)過譯碼器轉(zhuǎn)化而來的。目前產(chǎn)生選址信號的方法主要通過兩種方式實(shí)現(xiàn)：(1)直接使用測試儀器中的源測量單元提供選址信號，通過控制源測量單元的信號狀態(tài)產(chǎn)生不同的選址信號，信號通過探針卡傳輸?shù)酱郎y器件的可尋址電路中。這種方法需要通過人工或者計算機(jī)控制源測量單元產(chǎn)生的信號，在測試前均需要人工或計算機(jī)編輯好算法，通過調(diào)整源測量單元供電以達(dá)到選擇測試器件的目的。這種方法中編輯算法過程繁瑣，并且在切換待測器件過程中需要進(jìn)行指令運(yùn)行調(diào)試，占用了大量的測試時間，浪費(fèi)人力、時間成本，測試效率很低。(2)專利201621477013.9在待測器件的可尋址電路前配置選址信號發(fā)生裝置。此方式需要選址信號發(fā)生裝置與待測器件同時流片生產(chǎn)，待測器件制造工藝的成熟度會影響該裝置電路功能、穩(wěn)定性等，可能導(dǎo)致信號不平整等問題，對測試產(chǎn)生不良影響，同時每個待測器件配置相應(yīng)的選址信號發(fā)生裝置，不僅浪費(fèi)芯片/晶圓面積，而且制造成本非常昂貴。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決上述問題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種性能穩(wěn)定且快速的可尋址測試芯片測試系統(tǒng)。

為了實(shí)現(xiàn)上述的目的，本實(shí)用新型采用了以下的技術(shù)方案：

一種可尋址測試芯片測試系統(tǒng)，包括測試儀器、探針卡及可尋址測試芯片，測試儀器與可尋址測試芯片通過探針卡相連并構(gòu)成測試通路，可尋址測試芯片包括尋址電路、開關(guān)電路、若干待測器件和若干引腳，尋址電路與開關(guān)電路配合以選定指定的待測器件；引腳包括與芯片上電源端對應(yīng)的電源引腳、與開關(guān)電路對應(yīng)的測試引腳和與地址電路對應(yīng)的地址引腳，探針卡上集成有多用地址寄存器，該多用地址寄存器可根據(jù)外部信號的變化實(shí)現(xiàn)計數(shù)器或移位器的功能；測試儀器包括一個開關(guān)矩陣模塊、一個函數(shù)發(fā)生器、第一源測量單元、第二源測量單元、第三源測量單元和至少三個用于對待測器件并行測試的第四源測量單元；測試儀器中的第一源測量單元通過探針卡連接到可尋址測試芯片的電源引腳，為可尋址測試芯片供電；第二源測量單元與開關(guān)矩陣模塊相連，開關(guān)矩陣、第三源測量單元和函數(shù)發(fā)生器連接到探針卡上的多用地址寄存器，其中函數(shù)發(fā)生器還連接到第四源測量單元；第四源測量單元通過探針卡連接到測試芯片中的開關(guān)電路，從而為測試芯片中的開關(guān)電路提供電壓和數(shù)據(jù)測試；探針卡上的多用地址寄存器與測試芯片中的尋址電路相連。