[實用新型]一種低電阻溫度系數(shù)的復(fù)合薄膜電阻

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721904504.1
• 申請日: 2017-12-29
• 公開（公告）號: CN207663866U
• 公開（公告）日: 2018-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐浩然;李鴻高;吳波;宋澤潤;朱先勝
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團公司第四十三研究所
• 主分類號: H01C7/00
• 分類號: H01C7/00;H01C7/06;H01C17/075;H01C17/12
• 代理公司: 合肥天明專利事務(wù)所(普通合伙) 34115
• 代理人: 金凱

本實用新型公開一種低電阻溫度系數(shù)的復(fù)合薄膜電阻，包括玻璃或陶瓷基底、負電阻溫度系數(shù)材料層、正電阻溫度系數(shù)材料層、金屬電極層以及鈍化保護層；所述負電阻溫度系數(shù)材料層設(shè)于玻璃或陶瓷基底與正電阻溫度系數(shù)材料層之間；所述正電阻溫度系數(shù)材料層上表面設(shè)有金屬電極層以及非金屬電極層區(qū)域的鈍化保護層。該復(fù)合薄膜電阻采用負電阻溫度系數(shù)材料層、正電阻溫度系數(shù)材料層雙層復(fù)合薄膜結(jié)構(gòu)，能夠靈活調(diào)節(jié)電阻溫度系數(shù)，使其具有低電阻溫度系數(shù)；該結(jié)構(gòu)采用薄膜工藝，薄膜圖形精度高，體積更小；具有正溫度系數(shù)的材料層覆蓋具有負電阻溫度系數(shù)的材料層，可以有效提高電阻穩(wěn)定性，兼顧薄膜電阻的高精度與低溫度系數(shù)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及復(fù)合薄膜電阻的技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種低電阻溫度系數(shù)的復(fù)合薄膜電阻。

背景技術(shù)

薄膜電阻(thin-film resistor，TFR)是一種具有的高阻值跟蹤精度和微小體積的芯片式薄膜電阻(電阻網(wǎng)絡(luò))，通常用類蒸發(fā)的方法將一定電阻率材料蒸鍍于絕緣材料表面制成，具有阻值精高度、電阻溫度系數(shù)小、噪聲小和長期穩(wěn)定性好等優(yōu)點，精度最高可達±0.01％，溫度跟蹤系數(shù)最高可達±0.02％，適用于電子通訊、航天、航空、醫(yī)療設(shè)備器件等領(lǐng)域。

在很多產(chǎn)品，尤其是一些儀器儀表、衡器產(chǎn)品上常常需要具有很好的溫度穩(wěn)定性(阻值隨溫度變化而變化的大小)。對于如何實現(xiàn)薄膜電阻的低電阻溫度系數(shù)，一直是行業(yè)內(nèi)的技術(shù)難題。精密薄膜電阻的材料多采用合金材料，不同的成分比例與制備條件會導致其具有不同的電阻溫度系數(shù)。目前常用的精密薄膜電阻材料包括CrSi、NiCr、TaN等，但是單一材料的電阻溫度系數(shù)往往較高，并且其數(shù)值也有正負之分，其阻值穩(wěn)定性較差。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種低電阻溫度系數(shù)的復(fù)合薄膜電阻，通過將兩種合金材料合并使用，利用兩種合金材料相反的電阻溫度系數(shù)屬性，可以有效克服單一電阻材料的缺點，實現(xiàn)低電阻溫度系數(shù)，并通過在表面涂覆鈍化保護層，實現(xiàn)其產(chǎn)品對周圍環(huán)境的耐受性，提高長期穩(wěn)定性。

實現(xiàn)本實用新型目的的技術(shù)解決方案為：一種低電阻溫度系數(shù)的復(fù)合薄膜電阻，包括玻璃或陶瓷基底、負電阻溫度系數(shù)材料層、正電阻溫度系數(shù)材料層、金屬電極層以及鈍化保護層；所述負電阻溫度系數(shù)材料層設(shè)于玻璃或陶瓷基底與正電阻溫度系數(shù)材料層之間；所述正電阻溫度系數(shù)材料層上表層設(shè)有金屬電極層以及非金屬電極層區(qū)域的鈍化保護層。

進一步的，所述負電阻溫度系數(shù)材料層為TaN電阻材料層。

進一步的，所述正電阻溫度系數(shù)材料層為NiCr合金電阻材料層。

進一步的，所述NiCr合金電阻為Ni₆₀Cr₄₀合金電阻、Ni₇₀Cr₃₀合金電阻的一種。

進一步的，所述金屬電極層為W₉₀Ti₁₀/Au電極層、Cu/Ni/Au電極層的一種

進一步的，所述玻璃或陶瓷基底為微晶玻璃、石英玻璃、氧化鋁陶瓷、氮化鋁陶瓷、氧化鈹陶瓷的一種。

進一步的，所述鈍化保護層為SiO₂保護層。

低電阻溫度系數(shù)的復(fù)合薄膜電阻的制備方法，包括以下步驟：

1)在干凈的玻璃或者陶瓷基底上，依次沉積負電阻溫度系數(shù)材料層、正電阻溫度系數(shù)材料層和金屬電極層，得到復(fù)合薄膜電阻；對復(fù)合薄膜電阻進行熱處理；

2)對步驟1)熱處理后的復(fù)合薄膜電阻的金屬電極層進行刻蝕，得到預(yù)期圖形；再對正電阻溫度系數(shù)材料層進行刻蝕得到預(yù)期線條圖案；調(diào)整負電阻溫度系數(shù)材料層、正電阻溫度系數(shù)材料層的面積，得到溫度系數(shù)≤±10ppm/℃的低溫度系數(shù)薄膜電阻；