[實用新型]一種OLED線性蒸發源結構有效
| 申請號: | 201721898982.6 | 申請日: | 2017-12-29 |
| 公開(公告)號: | CN207699657U | 公開(公告)日: | 2018-08-07 |
| 發明(設計)人: | 林文晶;彭勃 | 申請(專利權)人: | 上海升翕光電科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/12 | 分類號: | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司: | 長春菁華專利商標代理事務所(普通合伙) 22210 | 代理人: | 南小平 |
| 地址: | 201506 上海市金*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 線性蒸發源 坩堝 進氣口 本實用新型 噴嘴 封板 底部中央位置 噴嘴排列方向 厚度均勻性 加熱坩堝 均勻排布 均勻一致 有機材料 蒸鍍設備 出氣口 體內腔 鍍膜 基板 緊固 良率 內腔 通孔 蒸鍍 密封 噴射 垂直 均衡 | ||
1.一種OLED線性蒸發源結構,其特征在于,包括:
坩堝(10),所述坩堝(10)上設有坩堝出氣口(101);
本體(20),所述本體(20)的內腔為中心對稱的扇形截面形狀;所述本體(20)的底部中央位置設有本體進氣口,用來與坩堝出氣口(101)相連通;
所述本體(20)的頂部,設置有水平呈線性均勻排布,垂直高度相同的多個噴嘴(30);
所述本體(20)在垂直于噴嘴(30)排列方向上的兩側分別設有封板(40),所述封板(40)緊固在所述本體(20)上,且能實現對所述本體(20)的內腔的密封。
2.根據權利要求1所述的一種OLED線性蒸發源結構,其特征在于,所述內腔由上至下依次設有:內腔上弧面(202)、左右兩個內腔底側斜面(201)和本體進氣口。
3.根據權利要求2所述的一種OLED線性蒸發源結構,其特征在于,左右兩個所述內腔底側斜面(201)的夾角的角度為90°~150°。
4.根據權利要求2或3所述的一種OLED線性蒸發源結構,其特征在于,所述本體(20)上設置有多個本體通孔(203),每個所述噴嘴(30)上分別設置有一個噴嘴通孔(301);
每個所述本體通孔(203)的上端與一個所述噴嘴通孔(301)相連通,每個所述本體通孔(203)的下端通過內腔上弧面(202)與所述本體(20)的內腔相連通。
5.根據權利要求4所述的一種OLED線性蒸發源結構,其特征在于,所述本體通孔(203)的直徑比所述噴嘴通孔(301)的直徑大。
6.根據權利要求2或3所述的一種OLED線性蒸發源結構,其特征在于,所述本體(20)的內腔上弧面(202)為薄壁結構,且所述內腔上弧面(202)上設置有多個本體通孔(203);每個所述噴嘴(30)上分別設置有一個噴嘴通孔(301);每個本體通孔(203)通過一個噴嘴進氣通道(302)與一個所述噴嘴(30)連通。
7.根據權利要求6所述的一種OLED線性蒸發源結構,其特征在于,所述噴嘴進氣通道(302)的直徑比所述噴嘴通孔(301)的直徑大。
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