[實(shí)用新型]高真空高低溫環(huán)境真空隔振平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721898137.9
• 申請日: 2017-12-29
• 公開（公告）號: CN207913793U
• 公開（公告）日: 2018-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 戴建新;戴科晨;沈麗娟;王燕
• 申請（專利權(quán)）人: 常熟市虞華真空設(shè)備科技有限公司
• 主分類號: B01L1/02
• 分類號: B01L1/02;B25H1/02;F16F15/02;F16F15/04
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 張俊范

本實(shí)用新型公開了一種高真空高低溫環(huán)境真空隔振平臺，包括真空實(shí)驗箱體和工件平臺，所述真空實(shí)驗箱體設(shè)有支撐法蘭，所述工件平臺設(shè)置在真空實(shí)驗箱體內(nèi)由平臺立柱支撐，所述平臺立柱穿過支撐法蘭與隔振地基連接，所述平臺立柱通過隔振組件與所述支撐法蘭固定連接，所述隔振組件包括波紋管，所述波紋管上端與所述支撐法蘭固定密封連接，所述波紋管下端與平臺立柱固定密封連接。該真空隔振平臺可有效減少由真空室引起的工件平臺振動，并減少真空室的漏熱問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種隔振裝置，特別是一種高真空高低溫環(huán)境真空隔振平臺。

背景技術(shù)

真空室內(nèi)進(jìn)行光路系統(tǒng)安裝等工作時，對工作平臺具有較高的隔振要求。而一般的真空室內(nèi)工作平臺直接與真空實(shí)驗箱體固定連接，真空實(shí)驗箱體上往往需要安裝各種驅(qū)動設(shè)備，另外真空泵等泵機(jī)也需要通過管路與真空實(shí)驗箱體直接連接。這些設(shè)備在工作時將產(chǎn)生較大的振動，通過各種機(jī)械連接或者管路傳導(dǎo)至真空試驗箱，進(jìn)而傳導(dǎo)至工作平臺。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對上述現(xiàn)有技術(shù)缺陷，本實(shí)用新型的任務(wù)在于提供一種高真空高低溫環(huán)境真空隔振平臺，解決真空室內(nèi)工件支撐并有效隔離真空室振動問題。

本實(shí)用新型技術(shù)方案如下：一種高真空高低溫環(huán)境真空隔振平臺，包括真空實(shí)驗箱體和工件平臺，所述真空實(shí)驗箱體設(shè)有支撐法蘭，所述工件平臺設(shè)置在真空實(shí)驗箱體內(nèi)由平臺立柱支撐，所述平臺立柱穿過支撐法蘭與隔振地基連接，所述平臺立柱通過隔振組件與所述支撐法蘭固定連接，所述隔振組件包括波紋管，所述波紋管上端與所述支撐法蘭固定密封連接，所述波紋管下端與平臺立柱固定密封連接。高真空高低溫環(huán)境真空隔振平臺通過波紋管自身的伸縮有效隔絕了由真空實(shí)驗箱體引起的工件平臺振動。

進(jìn)一步的，為了便于替換隔振組件，所述平臺立柱下端通過過渡組件與隔振地基連接，所述過渡組件包括過渡法蘭和活套法蘭，所述活套法蘭套設(shè)在平臺立柱的下端，所述過渡法蘭的上端與活套法蘭固定連接，所述過渡法蘭的下端與隔振地基固定連接。

進(jìn)一步的，所述平臺立柱固定連接有螺紋套，所述螺紋套上端設(shè)有凸緣，所述波紋管的下端設(shè)有內(nèi)凸緣，所述螺紋套的凸緣與波紋管的內(nèi)凸緣之間設(shè)有密封圈，所述波紋管的下端通過與所述螺紋套匹配的螺母與螺紋套的凸緣密封連接。

進(jìn)一步的，為了防止真空室通過平臺立柱漏熱，使平臺立柱在真空實(shí)驗箱體外結(jié)露結(jié)霜，破壞真空室內(nèi)溫度，所述真空實(shí)驗箱體設(shè)有熱沉，所述熱沉設(shè)有立柱屏蔽套，所述平臺立柱穿過所述立柱屏蔽套，所述平臺立柱的頂部設(shè)置隔熱組件，所述隔熱組件包括卡設(shè)于平臺立柱頂端的第一墊片，第二墊片的下表面設(shè)有凸臺，所述第二墊片通過所述凸臺與第一墊片固定連接，所述第一墊片與第二墊片間設(shè)有間隙，所述第二墊片支撐工件平臺，所述第一墊片側(cè)壁與立柱屏蔽套外側(cè)套設(shè)有屏蔽套。

優(yōu)選的，所述屏蔽套為間隔設(shè)置的雙層不銹鋼套。

優(yōu)選的，所述平臺立柱為空心圓管。

優(yōu)選的，為了增加平臺立柱支撐強(qiáng)度，穩(wěn)定工件平臺，所述相鄰的平臺立柱間固定連接有X形支架。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)在于：通過隔振組件將支撐工件平臺的平臺立柱與真空實(shí)驗箱體進(jìn)行振動隔離，避免了由真空實(shí)驗箱體引起工件平臺的振動。通過隔熱組件大幅減少了工件平臺與平臺立柱的直接接觸面積，同時通過屏蔽套減少了平臺立柱在高低溫真空環(huán)境的暴露面積，盡最大可能減少了由平臺立柱產(chǎn)生的真空室漏熱，避免了平臺立柱在真空室外的結(jié)霜結(jié)露問題，減少維護(hù)工作。

附圖說明

圖1為高真空高低溫環(huán)境真空隔振平臺的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1中A處隔振組件局部示意圖。

圖3為圖1中B處過渡組件局部示意圖。

圖4為圖1中C處隔熱組件局部示意圖。

具體實(shí)施方式