[實用新型]高真空高低溫環(huán)境真空隔振平臺有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721898137.9 | 申請日： | 2017-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN207913793U | 公開（公告）日： | 2018-09-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 戴建新;戴科晨;沈麗娟;王燕 | 申請（專利權(quán)）人： | 常熟市虞華真空設(shè)備科技有限公司 |
| 主分類號： | B01L1/02 | 分類號： | B01L1/02;B25H1/02;F16F15/02;F16F15/04 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 張俊范 |
| 地址： | 215500 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 平臺立柱 支撐法蘭 隔振平臺 工件平臺 真空實驗 波紋管 隔振 固定密封連接 高低溫環(huán)境 高真空 真空室 本實用新型 有效減少 組件包括 上端 漏熱 下端 地基 穿過 支撐 | ||
1.一種高真空高低溫環(huán)境真空隔振平臺，其特征在于：包括真空實驗箱體和工件平臺，所述真空實驗箱體設(shè)有支撐法蘭，所述工件平臺設(shè)置在真空實驗箱體內(nèi)由平臺立柱支撐，所述平臺立柱穿過支撐法蘭與隔振地基連接，所述平臺立柱通過隔振組件與所述支撐法蘭固定連接，所述隔振組件包括波紋管，所述波紋管上端與所述支撐法蘭固定密封連接，所述波紋管下端與平臺立柱固定密封連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高真空高低溫環(huán)境真空隔振平臺，其特征在于，所述平臺立柱下端通過過渡組件與隔振地基連接，所述過渡組件包括過渡法蘭和活套法蘭，所述活套法蘭套設(shè)在平臺立柱的下端，所述過渡法蘭的上端與活套法蘭固定連接，所述過渡法蘭的下端與隔振地基固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高真空高低溫環(huán)境真空隔振平臺，其特征在于，所述平臺立柱固定連接有螺紋套，所述螺紋套上端設(shè)有凸緣，所述波紋管的下端設(shè)有內(nèi)凸緣，所述螺紋套的凸緣與波紋管的內(nèi)凸緣之間設(shè)有密封圈，所述波紋管的下端通過與所述螺紋套匹配的螺母與螺紋套的凸緣密封連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高真空高低溫環(huán)境真空隔振平臺，其特征在于，所述真空實驗箱體設(shè)有熱沉，所述熱沉設(shè)有立柱屏蔽套，所述平臺立柱穿過所述立柱屏蔽套，所述平臺立柱的頂部設(shè)置隔熱組件并通過隔熱組件支撐所述工件平臺，所述隔熱組件包括卡設(shè)于平臺立柱頂端的第一墊片，第二墊片的下表面設(shè)有凸臺，所述第二墊片通過所述凸臺與第一墊片固定連接，所述第一墊片與第二墊片間設(shè)有間隙，所述第一墊片側(cè)壁與立柱屏蔽套外側(cè)套設(shè)有屏蔽套。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高真空高低溫環(huán)境真空隔振平臺，其特征在于，所述屏蔽套為間隔設(shè)置的雙層不銹鋼套。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高真空高低溫環(huán)境真空隔振平臺，其特征在于，所述平臺立柱為空心圓管。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高真空高低溫環(huán)境真空隔振平臺，其特征在于，所述相鄰的平臺立柱間固定連接有X形支架。
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