[實用新型]基于MEMS電容式微加速度計的傳感器和航姿儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721890659.4
• 申請日: 2017-12-28
• 公開（公告）號: CN207623364U
• 公開（公告）日: 2018-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 肖咸盛;楊擁軍;李博
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團公司第十三研究所
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125
• 代理公司: 石家莊國為知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 13120
• 代理人: 郝偉

本實用新型公開了一種基于MEMS電容式微加速度計的傳感器和航姿儀，該基于MEMS電容式微加速度計的傳感器包括：基座；多個設(shè)置在所述基座上的MEMS電容式微加速度計，且各個所述MEMS電容式微加速度計的軸線之間具有預(yù)設(shè)夾角；為各個所述MEMS電容式微加速度計供電的電源模塊。上述基于MEMS電容式微加速度計的傳感器，可以應(yīng)用到汽車定位、精細農(nóng)用機械車輛導(dǎo)航、林區(qū)防火的無人機、精確制導(dǎo)武器、衛(wèi)星探測等方面，環(huán)境適應(yīng)性好，隨溫度變化較小，能夠較為精確的實時獲取當(dāng)前加速度信息，提高測量精度，且可以連續(xù)測量沖擊加速度，而性能特性不會發(fā)生明顯變化。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及傳感器技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種基于MEMS電容式微加速度計的傳感器和航姿儀。

背景技術(shù)

目前，MEMS電容式微加速度計時當(dāng)今測試測量加速度的趨勢。MEMS電容式微加速度計具有成本低、體積小、重量輕、功耗低等優(yōu)點，因此在消費電子、汽車定位、結(jié)構(gòu)模態(tài)測量、制導(dǎo)武器、衛(wèi)星探測等方面具有非常重要的應(yīng)用價值。

國內(nèi)外傳統(tǒng)的高g值沖擊傳感器采取壓阻式或壓電式的原理，其精度能夠滿足要求，且加工難度較低。但是壓阻式?jīng)_擊傳感器有著其自身的缺點，如溫度特性差，環(huán)境適應(yīng)能力有限，在全溫范圍內(nèi)的靈敏度指標變化很大，直接影響工程測試精度。壓電式?jīng)_擊傳感器的頻響范圍寬，動態(tài)特性好，但是其在連續(xù)測量高沖擊加速度時會短暫發(fā)生電荷阻塞現(xiàn)象，影響輸出精度，且壓電式?jīng)_擊傳感器內(nèi)部的壓電晶體對安裝時基座傳遞至晶體的機械應(yīng)力異常敏感，會對沖擊傳感器的性能產(chǎn)生影響。

實用新型內(nèi)容

本實用新型要解決的技術(shù)問題是針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種基于MEMS電容式微加速度計的傳感器和航姿儀，環(huán)境適應(yīng)性好且測量精度高。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型所采取的技術(shù)方案是：

一種基于MEMS電容式微加速度計的傳感器，包括：

基座；

多個設(shè)置在所述基座上的MEMS電容式微加速度計，且各個所述MEMS電容式微加速度計的軸線之間具有預(yù)設(shè)夾角；

為各個所述MEMS電容式微加速度計供電的電源模塊。

優(yōu)選的，所述MEMS電容式微加速度計的個數(shù)為三個。

優(yōu)選的，三個所述MEMS電容式微加速度計的軸線之間相互垂直。

優(yōu)選的，各個所述MEMS電容式微加速度計通過粘結(jié)的方式設(shè)置在所述基座上。

優(yōu)選的，所述MEMS電容式微加速度計采用MEMS電容式微加速度計MSV6000系列微加速度計芯片。

優(yōu)選的，還包括：

整體呈長方體型的殼體；所述基座、所述電源模塊和各個所述MEMS電容式微加速度計均設(shè)置在所述殼體中。

優(yōu)選的，所述殼體是通過304不銹鋼材料制成的。

優(yōu)選的，還包括：

對各個所述MEMS電容式微加速度計的輸出信號進行電容/電壓轉(zhuǎn)化處理、信號放大處理以及靈敏度補償和溫度補償處理的功能電路。

一種航姿儀，包括上述任一基于MEMS電容式微加速度計的傳感器。

采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于：本實用新型實施例可以應(yīng)用到汽車定位、精細農(nóng)用機械車輛導(dǎo)航、林區(qū)防火的無人機、精確制導(dǎo)武器、衛(wèi)星探測等方面，通過各個MEMS電容式微加速度計獲取當(dāng)前加速度信息，而MEMS電容式微加速度計環(huán)境適應(yīng)性好，隨溫度變化較小，因此能夠較為精確的實時獲取當(dāng)前加速度信息，提高測量精度。

附圖說明