[實用新型]基于MEMS電容式微加速度計的傳感器和航姿儀有效
| 申請號： | 201721890659.4 | 申請日： | 2017-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN207623364U | 公開（公告）日： | 2018-07-17 |
| 發明（設計）人： | 肖咸盛;楊擁軍;李博 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第十三研究所 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 石家莊國為知識產權事務所 13120 | 代理人： | 郝偉 |
| 地址： | 050051 河北*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電容式微加速度計 傳感器 精確制導武器 農用機械車輛 本實用新型 環境適應性 加速度信息 電源模塊 連續測量 林區防火 汽車定位 實時獲取 衛星探測 性能特性 預設夾角 測量 精細 供電 應用 | ||
1.一種基于MEMS電容式微加速度計的傳感器，其特征在于，包括：
基座；
多個設置在所述基座上的MEMS電容式微加速度計，且各個所述MEMS電容式微加速度計的軸線之間具有預設夾角；
為各個所述MEMS電容式微加速度計供電的電源模塊。
2.根據權利要求1所述的基于MEMS電容式微加速度計的傳感器，其特征在于，所述MEMS電容式微加速度計的個數為三個。
3.根據權利要求2所述的基于MEMS電容式微加速度計的傳感器，其特征在于，三個所述MEMS電容式微加速度計的軸線之間相互垂直。
4.根據權利要求1所述的基于MEMS電容式微加速度計的傳感器，其特征在于，各個所述MEMS電容式微加速度計通過粘結的方式設置在所述基座上。
5.根據權利要求4所述的基于MEMS電容式微加速度計的傳感器，其特征在于，所述MEMS電容式微加速度計采用MEMS電容式微加速度計MSV6000系列微加速度計芯片。
6.根據權利要求1所述的基于MEMS電容式微加速度計的傳感器，其特征在于，還包括：
整體呈長方體型的殼體；所述基座、所述電源模塊和各個所述MEMS電容式微加速度計均設置在所述殼體中。
7.根據權利要求6所述的基于MEMS電容式微加速度計的傳感器，其特征在于，所述殼體是通過304不銹鋼材料制成的。
8.根據權利要求1所述的基于MEMS電容式微加速度計的傳感器，其特征在于，還包括：
對各個所述MEMS電容式微加速度計的輸出信號進行電容/電壓轉化處理、信號放大處理以及靈敏度補償和溫度補償處理的功能電路。
9.一種航姿儀，其特征在于，包括權利要求1至8任一項所述的基于MEMS電容式微加速度計的傳感器。
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