[實用新型]一種濺射鍍膜設備用真空計校正儀

有效

• 申請號: 201721880063.6
• 申請日: 2017-12-28
• 公開（公告）號: CN207675368U
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發明（設計）人: 管信;于潮;陶曉軍;張俊
• 申請（專利權）人: 山東淄博漢能薄膜太陽能有限公司
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00
• 代理公司: 淄博佳和專利代理事務所 37223
• 代理人: 商曉

一種濺射鍍膜設備用真空計校正儀，屬于光伏技術設備領域。包括標準真空計、濺射鍍膜設備用真空計、校準室、分子泵、機械泵、第一模擬數字轉換器和第二模擬數字轉換器，校準室設置多個端口并分別連接供氣系統、標準真空計、濺射鍍膜設備用真空計和分子泵，標準真空計連接第一模擬數字轉換器，濺射鍍膜設備用真空計連接第二模擬數字轉換器，分子泵與機械泵連接，其特征在于：還包括微調針閥、真空閥門和微調針閥，所述的供氣系統與校準室之間設置微調針閥，所述的機械泵與分子泵共同連接在校準室的同一端口，機械泵和分子泵之間設置真空閥門。具有操作簡單、對校準室抽氣更徹底并精準控制供氣系統流量的有益效果。

技術領域

一種濺射鍍膜設備用真空計校正儀，屬于光伏技術設備領域。

背景技術

當今環境污染和能源短缺的加劇，使得人們越來越關注清潔能源的發展，太陽能電池是清潔能源的一個重要方向，然而太陽能組件生產過程中鍍膜設備真空計數據是否準確，直接關系著太陽能電池生產量效率高低，所以鍍膜設備的真空計必須定期進行校正。

真空計是測量真空度或氣壓的儀器，它是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓測量。真空計校正是真空計制造和使用中常見的工作，真空計通常由規管與儀器電路組成。不同類型的規管適用于不同的真空度，真空規管大部分是與氣體種類有關的相對真空規，規管的校準曲線難以由計算決定，通常僅作定性計算，即使使用計算的曲線，準確的定量最終要由實驗驗證。真空規管具有零散性，與電路組成儀器的整體后允許誤差20%～50%，因此在儀器生產過程中常采取逐臺調試和校準。熱導規在使用壽命周期內，靈敏度和零點會變化，曲線因此會發生位移，須要定期進行校正。如果真空規和真空計的儀表部分不進行整體校準，就無法保證真空計測量結果的準確性。真空計的制造中的生產調試和品質檢驗、規管與儀器配套或更換規管、儀器定期檢定、在使用中對于儀器準確度的檢測等過程中都需要校正真空計。

現有技術中校正真空計的處理方法有：一種方式是通過調整模擬電路工作參數，更換規管或電路元件，對帶有補償電路的規管調整工作參數，將各個規管的唯一修正參數存入芯片中與規管配套使用等類似方式；另一種方式是通過標準真空計與待校正真空計一同連接在校準室的兩端，預先抽空校準室的氣體，再通過供氣系統充入氣體，校正待校正真空計。

由專業人員經過用標準真空計的讀數作為標準，與被校真空計的讀數進行比對，記錄、分析、計算和再次輸入儀器等一系列工作，通常每次由手工進行數據敲入、軟件調入打開、運算及輸入輸出的操作，主要依賴人工處理，費時且繁瑣；第二種方式不能對測量有毒氣體的真空計進行校正，不能精準控制供氣系統氣體流量，不能將校準室中的氣體完全抽出等問題。針對現有技術的不足，目前急需一種操作簡單、對校準室抽氣更徹底并精準控制供氣系統流量的技術方案。

發明內容

本實用新型要解決的技術問題是：克服現有技術的不足，提供一種操作簡單、對校準室抽氣更徹底并精準控制供氣系統流量的濺射鍍膜設備用真空計校正儀。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：該濺射鍍膜設備用真空計校正儀，包括標準真空計、濺射鍍膜設備用真空計、校準室、分子泵、機械泵、第一模擬數字轉換器和第二模擬數字轉換器，校準室設置多個端口并分別連接供氣系統、標準真空計、濺射鍍膜設備用真空計和分子泵，標準真空計連接第一模擬數字轉換器，濺射鍍膜設備用真空計連接第二模擬數字轉換器，分子泵與機械泵連接，其特征在于：所述的供氣系統與校準室之間設置微調針閥，所述的機械泵與分子泵共同連接在校準室的同一端口，機械泵和分子泵之間設置真空閥。

優選的，所述的供氣系統和微調針閥之間設置過濾器。

優選的，所述的標準真空計和濺射鍍膜設備用真空計分別通過KF連接頭與校準室連接。

優選的，所述的機械泵和分子泵之間通過波紋管連接。

優選的，所述的機械泵與校準室之間設置真空閥。

優選的，所述的分子泵與校準室之間設置真空閥。