[實用新型]一種圓片級背金芯片的封裝結構有效
| 申請號: | 201721876680.9 | 申請日: | 2017-12-28 |
| 公開(公告)號: | CN207834271U | 公開(公告)日: | 2018-09-07 |
| 發明(設計)人: | 陳海杰;陳棟;胡正勛;孫超;張黎;陳錦輝;賴志明 | 申請(專利權)人: | 江陰長電先進封裝有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/31 | 分類號: | H01L23/31;H01L23/492 |
| 代理公司: | 南京經緯專利商標代理有限公司 32200 | 代理人: | 趙華 |
| 地址: | 214400 江蘇省無錫市江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 背金層 基本體 背金 正面保護層 封裝結構 芯片電極 芯片 絕緣層 背面 本實用新型 塑封層 圓片級 開口 半導體封裝技術 嵌入式封裝 金屬凸點 裸露面 上表面 小芯片 粘結層 粘合 包封 覆蓋 | ||
1.一種圓片級背金芯片的封裝結構,其硅基本體(10)的正面設有若干個芯片電極(11)和功能感應區以及芯片絕緣層(14),所述芯片絕緣層(14)覆蓋硅基本體(10)并露出芯片電極(11),其特征在于,
所述芯片絕緣層(14)覆蓋硅基本體(10)的劃片道(12)的殘余部分并向外側延伸,形成芯片絕緣層延伸部(141),
還包括正面保護層(18)和塑封層(60),所述正面保護層(18)覆蓋芯片絕緣層(14)并開設正面保護層開口(181)再次露出芯片電極(11),在所述芯片電極(11)的上表面設置金屬凸點(20),所述金屬凸點(20)露出正面保護層(18),
在所述硅基本體(10)的背面依次設置背金粘結層(43)和銅層(40),形成背金層,所述背金粘結層(43)的厚度大不大于2微米,所述背金層的厚度大于5微米,所述背金層通過背金粘結層(43)與硅基本體(10)的背面粘合連接,
所述塑封層(60)包封背金層和硅基本體(10)的裸露面至芯片絕緣層延伸部(141),并開設塑封層開口(601),所述塑封層開口(601)局部或全部露出背金層背面,所述背金層背面的裸露面繼續與埋在PCB板/基板中的其他IC做互聯。
2.根據權利要求1所述的圓片級背金芯片的封裝結構,其特征在于,所述金屬凸點(20)的材質為銅、錫、錫銀合金或Ni/Au、Ni/Pd/Au復合結構。
3.根據權利要求1所述的圓片級背金芯片的封裝結構,其特征在于,所述金屬凸點(20)高度在5微米至50微米。
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