[實用新型]一種用于磁控濺射設備的旋轉樣品臺

有效

• 申請號: 201721876087.4
• 申請日: 2017-12-28
• 公開（公告）號: CN207632886U
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發明（設計）人: 沈洪雪;金克武;姚婷婷;楊勇;李剛
• 申請（專利權）人: 中建材蚌埠玻璃工業設計研究院有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/35
• 代理公司: 安徽省蚌埠博源專利商標事務所 34113
• 代理人: 尹杰

本實用新型涉及一種用于磁控濺射設備的旋轉樣品臺，包括樣品架（1），在樣品架（1）上設有旋轉座（2），在旋轉座（2）上轉動配合連接伸縮桿（3），伸縮桿（3）通過球頭（4）連接支撐桿（5），在支撐桿（5）上固定連接托盤（6）。本實用新型的優點：本裝置用于磁控濺射時多個靶材之間進行靈活轉換，能夠360°無死角旋轉樣品臺，克服了傳統樣品臺不可同時進行多元素薄膜制備的缺陷，以達到同時制備多種摻雜薄膜的目的，有效避免了使用多種摻雜量的靶材，節約了成本，同時也提高了磁控濺射設備的使用效率，為多元素薄膜的實驗研發起到了一定的推動作用。

技術領域

本實用新型涉及磁控濺射技術領域，特別涉及一種用于磁控濺射設備的旋轉樣品臺。

背景技術

在鍍膜技術飛速發展的今天，多元素復合薄膜的制備得到快速發展，也是目前最熱門的研究領域之一。眾所周知，多元素薄膜的制備：a、采用共摻雜的技術；b、采用事先一定值摻雜量的靶材進行鍍膜，然后制備多元素薄膜。但對于上述情況a只能進行一種摻雜元素薄膜的制備，對于b靶材摻雜只能進行一定值的摻雜量，對于后續的研究存在很多障礙，不能靈活運用，如需進行不同量的摻雜，則需要更多的靶材，浪費大量資金，而對于二種以上的元素摻雜則不能進行。上述情況一定程度上限制了多元素薄膜的制備方法和研究進程。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現階段磁控濺射設備不能同時進行多元素薄膜制備的缺點，而提出的一種用于磁控濺射設備的旋轉樣品臺。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種用于磁控濺射設備的旋轉樣品臺，其特征在于：包括樣品架，在樣品架上設有旋轉座，在旋轉座上轉動配合連接伸縮桿，伸縮桿通過球頭連接支撐桿，在支撐桿上固定連接托盤。

在上述技術方案的基礎上，可以有以下進一步的技術方案：

所述樣品架為桿狀結構，所述旋轉座包括與樣品架套接的轉筒，在轉筒上通過鉸接座連接所述伸縮桿。

所述轉筒通過第一鎖緊件鎖緊固定在所述樣品架上，所述伸縮桿通過第二鎖緊件鎖緊固定在所述鉸接座上。

所述伸縮桿包括底桿，在底桿上套接調節桿，在調節桿的一側設有套接在底桿上的套筒，調節桿連接所述球頭。

所述底桿和所述調節桿之間通過第三鎖緊件鎖緊固定。

所述伸縮桿包括下桿，在下桿上連接螺紋套筒，螺紋套筒還連接上桿，上桿連接所述球頭。

在所述下桿和所述上桿上均連接一個鎖緊螺母，兩個鎖緊螺母均與所述螺紋套筒對應鎖緊配合。

傳統樣品臺是不可移動，不可360°無死角旋轉，現樣品臺改進為由一個托盤，一個支撐桿，一個能360°旋轉的的球頭，一個能夠上、下180°旋轉的伸縮桿，一個樣品架組成。這樣在制備薄膜的過程中，如無需摻雜，則伸縮桿直接垂直靶材，和常規樣品臺無差別，如需要進行兩種或以上的靶材同時進行鍍膜，只需要調整伸縮桿的長度和上下的角度，使靶材起輝時，樣品臺旋轉過程中能經過靶材正上方即可，達到了可同時進行多種元素薄膜制備的目的。

本實用新型的優點在于：本裝置用于磁控濺射時多個靶材之間進行靈活轉換，能夠360°無死角旋轉樣品臺，克服了傳統樣品臺不可同時進行多元素薄膜制備的缺陷，以達到同時制備多種摻雜薄膜的目的，有效避免了使用多種摻雜量的靶材，節約了成本，同時也提高了磁控濺射設備的使用效率，為多元素薄膜的實驗研發起到了一定的推動作用。

附圖說明

圖1是本實用新型的基本結構示意圖；

圖2是圖1的使用狀態示意圖；

圖3是伸縮桿的另一結構示意圖。

具體實施方式