[實用新型]一種用于磁控濺射設備的旋轉樣品臺

有效

• 申請號: 201721876087.4
• 申請日: 2017-12-28
• 公開（公告）號: CN207632886U
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發明（設計）人: 沈洪雪;金克武;姚婷婷;楊勇;李剛
• 申請（專利權）人: 中建材蚌埠玻璃工業設計研究院有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/35
• 代理公司: 安徽省蚌埠博源專利商標事務所 34113
• 代理人: 尹杰

1.一種用于磁控濺射設備的旋轉樣品臺，其特征在于：包括樣品架（1），在樣品架（1）上設有旋轉座（2），在旋轉座（2）上轉動配合連接伸縮桿（3），伸縮桿（3）通過球頭（4）連接支撐桿（5），在支撐桿（5）上固定連接托盤（6）。

2.根據權利要求1所述的一種用于磁控濺射設備的旋轉樣品臺，其特征在于：所述樣品架（1）為桿狀結構，所述旋轉座（2）包括與樣品架（1）套接的轉筒（7），在轉筒（7）上通過鉸接座（8）連接所述伸縮桿（3）。

3.根據權利要求2所述的一種用于磁控濺射設備的旋轉樣品臺，其特征在于：所述轉筒（7）通過第一鎖緊件（9）鎖緊固定在所述樣品架（1）上，所述伸縮桿（3）通過第二鎖緊件（10）鎖緊固定在所述鉸接座（8）上。

4.根據權利要求1所述的一種用于磁控濺射設備的旋轉樣品臺，其特征在于：所述伸縮桿（3）包括底桿（11），在底桿（11）上套接調節桿（12），在調節桿（12）的一側設有套接在底桿（11）上的套筒（13），調節桿（12）連接所述球頭（4）。

5.根據權利要求4所述的一種用于磁控濺射設備的旋轉樣品臺，其特征在于：所述底桿（11）和所述調節桿（12）之間通過第三鎖緊件（14）鎖緊固定。

6.根據權利要求1所述的一種用于磁控濺射設備的旋轉樣品臺，其特征在于：所述伸縮桿（3）包括下桿（15），在下桿（15）上連接螺紋套筒（16），螺紋套筒（16）還連接上桿（17），上桿（17）連接所述球頭（4）。

7.根據權利要求6所述的一種用于磁控濺射設備的旋轉樣品臺，其特征在于：在所述下桿（15）和所述上桿（17）上均連接一個鎖緊螺母（18），兩個鎖緊螺母（18）均與所述螺紋套筒（16）對應鎖緊配合。