[實用新型]一種手動探針臺的載片臺裝置

有效

• 申請號: 201721872702.4
• 申請日: 2017-12-27
• 公開（公告）號: CN207780071U
• 公開（公告）日: 2018-08-28
• 發明（設計）人: 吉仁文
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R31/28
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

本實用新型提供一種手動探針臺的載片臺裝置，包括載片臺上表面及側面、氣體孔、凸起部及收容部；通過收容部為手動吸筆提供容置空間，晶圓在轉移及定位過程中，避免了人為因素對晶圓產生的污染，提高了晶圓測試結果精準度，同時，減少了晶圓定位時間，提高了生產效率；通過凸起部，對位于載片臺上的晶圓起到限位阻擋作用，從而避免晶圓從載片臺的上表面滑落，造成碎片。

技術領域

本實用新型屬于測試設備領域，涉及一種手動探針臺的載片臺裝置。

背景技術

在半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝測試的研發、生產制造、實效分析過程中，經常要量測晶圓內部的電參數，由于晶片尺寸越來越小，位于晶片上的測試器件也越來越小，沒有辦法用簡單的萬用表、示波器的表筆來探測信號。因此，探針臺被廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量中，旨在確保產品質量及可靠性，并縮減研發時間和產品制造工藝的成本。

探針臺從操作上區分有：手動探針臺，半自動探針臺，全自動探針臺。其中，手動探針臺因操作方便，工作人員可根據實際需求對器件進行自主定位，因此，能很好的幫助工作人員實現微小位置的電學參數測試。

現有的手動探針臺裝置一般包括：顯微鏡、探針座、載片臺。所述載片臺用以承載待測試的晶圓，如圖1所示，顯示為現有的一種手動探針臺的載片臺裝置俯視結構示意圖。所述載片臺1的上表面包括氣體孔2，所述氣體孔2連接于氣體操控系統(未圖示)。所述載片臺1的上表面為圓形，用于承載待測試的所述晶圓，所述氣體操控系統用于提供吸附待測試的所述晶圓所需的真空，并通過所述氣體孔2吸附待測試的所述晶圓。然而，在測試過程中，需采用手動吸筆將待測試的所述晶圓轉移至所述載片臺1的上表面，而后，手動打開所述氣體操控系統吸附待測試的所述晶圓，完成轉移過程。在所述轉移過程中，為防止所述晶圓上表面被污染，影響測試結果，所述手動吸筆直接與待測試的所述晶圓背面接觸。

在將所述晶圓轉移至所述載片臺1時，一方面，由于所述載片臺1不具有收容所述手動吸筆的容置空間，因此，工作人員需手動將所述晶圓從所述手動吸筆上沿所述載片臺1側面向所述載片臺中心轉移至所述載片臺1上，而后對位于所述載片臺1上的所述晶圓進行定位，該轉移及定位過程由于均采用手動操作，會對所述晶圓產生污染，從而影響所述晶圓的測試結果；另一方面，由于所述載片臺1的上表面為水平面且不具有起限位阻擋作用的凸起部，因此，所述晶圓容易從所述載片臺1的上表面滑落，造成碎片的風險。

基于以上所述，提供在晶圓轉移及定位過程中，可有效避免晶圓被污染，影響測試結果，以及可有效避免晶圓從所述載片臺的上表面滑落造成碎片的手動探針臺的載片臺裝置實屬必要。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種手動探針臺的載片臺裝置，用于解決現有技術中，由于載片臺不具有收容手動吸筆的容置空間，造成晶圓在轉移及定位過程中，因人為因素所產生的晶圓污染，影響測試結果；以及由于載片臺的上表面為水平面且不具有起限位阻擋作用的凸起部，造成所述晶圓容易從所述載片臺的上表面滑落造成碎片的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種手動探針臺的載片臺裝置，包括：

載片臺，所述載片臺具有上表面及側面，所述上表面用于放置晶圓，所述上表面設有氣體孔；

凸起部，凸設于所述上表面的周緣；

收容部，包含自所述載片臺的所述側面向所述載片臺中心方向延伸的凹槽，所述凹槽的形狀與所述手動吸筆相匹配，以為所述手動吸筆提供容置空間。

優選地，還包括氣體分流槽，位于所述上表面，連接于所述氣體孔。

優選地，所述氣體分流槽為多個同心環形槽。

優選地，所述氣體孔均勻分布。

優選地，所述凸起部包含N個，其中N＞1，相對于所述凹槽對稱分布。