[實用新型]一種手動探針臺的載片臺裝置有效
| 申請號： | 201721872702.4 | 申請日： | 2017-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN207780071U | 公開（公告）日： | 2018-08-28 |
| 發明（設計）人： | 吉仁文 | 申請（專利權）人： | 德淮半導體有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/04 | 分類號： | G01R1/04;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 223300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶圓 載片臺 手動探針臺 凸起部 載片 收容 本實用新型 定位過程 晶圓測試 晶圓定位 人為因素 容置空間 生產效率 精準度 上表面 滑落 吸筆 限位 阻擋 側面 污染 | ||
1.一種手動探針臺的載片臺裝置，其特征在于，包括：
載片臺，所述載片臺具有上表面及側面，所述上表面用于放置晶圓，所述上表面設有氣體孔；
凸起部，凸設于所述上表面的周緣；
收容部，包含自所述載片臺的所述側面向所述載片臺中心方向延伸的凹槽，所述凹槽的形狀與所述手動吸筆相匹配，以為所述手動吸筆提供容置空間。
2.根據權利要求1所述的一種手動探針臺的載片臺裝置，其特征在于：還包括氣體分流槽，位于所述上表面，連接于所述氣體孔。
3.根據權利要求2所述的一種手動探針臺的載片臺裝置，其特征在于：所述氣體分流槽為多個同心環形槽。
4.根據權利要求1所述的一種手動探針臺的載片臺裝置，其特征在于：所述氣體孔均勻分布。
5.根據權利要求1所述的一種手動探針臺的載片臺裝置，其特征在于：所述凸起部包含N個，其中N＞1，相對于所述凹槽對稱分布。
6.根據權利要求1所述的一種手動探針臺的載片臺裝置，其特征在于：所述凸起部包圍所述上表面的周緣。
7.根據權利要求1所述的一種手動探針臺的載片臺裝置，其特征在于：所述凸起部的位置及形狀與所述晶圓匹配，以定位所述晶圓。
8.根據權利要求1所述的一種手動探針臺的載片臺裝置，其特征在于：所述收容部在豎直方向上貫穿所述載片臺。
9.根據權利要求1所述的一種手動探針臺的載片臺裝置，其特征在于：所述收容部未貫穿所述載片臺，所述收容部的最小空間為容納所述手動吸筆。
10.根據權利要求1所述的一種手動探針臺的載片臺裝置，其特征在于：所述凹槽橫截面由直線及曲線中的一種或組合圍成。
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