[實(shí)用新型]一種固晶輔助設(shè)備及固晶機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721862362.7
• 申請日: 2017-12-27
• 公開（公告）號: CN207731905U
• 公開（公告）日: 2018-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張銀鴿;王建丁;曹俊星
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山思雷電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種固晶輔助設(shè)備，其特征在于，包括：

顯微鏡裝置，其包括工作臺A和顯微鏡，所述工作臺A用于放置帶有芯片矩陣和晶片的載體，所述顯微鏡設(shè)于所述工作臺A上方，用于放大所述載體上芯片矩陣和晶片的圖像；

第一機(jī)器視覺檢測裝置，其包括相機(jī)和圖像處理分析主機(jī)，所述相機(jī)設(shè)于所述顯微鏡的目鏡上方，用于獲取所述載體上芯片矩陣和晶片的圖像，所述圖像處理分析主機(jī)電連接所述相機(jī)，用于對所述載體上芯片矩陣和晶片的圖像進(jìn)行處理并獲取所述晶片相對所述芯片矩陣的當(dāng)前位置；

推移裝置，其包括推頭、第一運(yùn)動機(jī)構(gòu)以及第一控制系統(tǒng)，所述推頭用于推移所述晶片，所述第一運(yùn)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動連接所述推頭，用于根據(jù)第一控制指令將所述推頭自所述當(dāng)前位置移送至設(shè)定位置，所述第一控制系統(tǒng)電連接所述圖像處理分析主機(jī)和所述第一運(yùn)動機(jī)構(gòu)，用于根據(jù)所述當(dāng)前位置和所述設(shè)定位置向所述第一運(yùn)動機(jī)構(gòu)發(fā)出第一控制指令；

其中，所述第一運(yùn)動機(jī)構(gòu)為三維精密移動平臺。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固晶輔助設(shè)備，其特征在于，所述三維精密移動平臺的精度為1-3um。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固晶輔助設(shè)備，其特征在于，所述顯微鏡的支架可調(diào)節(jié)設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固晶輔助設(shè)備，其特征在于，所述相機(jī)為CCD相機(jī)。

5.一種固晶機(jī)，包括用于放置膠體的膠盤、用于放置晶片的載物臺、用于放置載體的工作臺B、用于根據(jù)設(shè)定程序?qū)⑺瞿z盤中的膠體轉(zhuǎn)移到工作臺B上的載體上的點(diǎn)膠裝置以及用于根據(jù)設(shè)定程序?qū)⑺鲚d物臺上的晶片轉(zhuǎn)移到所述工作臺上的載體上的取放裝置，其特征在于，所述固晶機(jī)還包括如權(quán)利要求1至4任一所述的固晶輔助設(shè)備。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的固晶機(jī)，其特征在于，所述點(diǎn)膠裝置包括點(diǎn)膠頭、第二運(yùn)動機(jī)構(gòu)以及第二控制系統(tǒng)，所述點(diǎn)膠頭用于自所述膠盤沾取膠體和將膠體轉(zhuǎn)移到所述工作臺B上的載體上，所述第二運(yùn)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動連接所述點(diǎn)膠頭，用于根據(jù)第二控制指令將所述點(diǎn)膠頭自所述膠盤移送到所述工作臺B，所述第二控制系統(tǒng)電連接所述第二運(yùn)動機(jī)構(gòu)，用于向所述第二運(yùn)動機(jī)構(gòu)發(fā)出第二控制指令。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的固晶機(jī)，其特征在于，所述第二控制系統(tǒng)根據(jù)控制程序向所述第二運(yùn)動機(jī)構(gòu)發(fā)出第二控制指令或根據(jù)第二機(jī)器視覺檢測裝置檢測到的載體相對所述膠盤的當(dāng)前位置和設(shè)定位置向所述第二運(yùn)動機(jī)構(gòu)發(fā)出第二控制指令。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的固晶機(jī)，其特征在于，所述取放裝置包括吸嘴、第三運(yùn)動機(jī)構(gòu)以及第三控制系統(tǒng)，所述吸嘴用于自所述載物臺吸取晶片和將晶片放置于所述工作臺B上的載體上，所述第三運(yùn)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動連接所述吸嘴，用于根據(jù)第三控制指令將所述吸嘴自所述載物臺移送到所述工作臺B，所述第三控制系統(tǒng)電連接所述第三運(yùn)動機(jī)構(gòu)，用于向所述第三運(yùn)動機(jī)構(gòu)發(fā)出第三控制指令。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的固晶機(jī)，其特征在于，所述第三控制系統(tǒng)根據(jù)控制程序向所述第三運(yùn)動機(jī)構(gòu)發(fā)出第三控制指令或根據(jù)第三機(jī)器視覺檢測裝置檢測到的載體相對所述載物臺的當(dāng)前位置和設(shè)定位置向所述第三運(yùn)動機(jī)構(gòu)發(fā)出第三控制指令。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的固晶機(jī)，其特征在于，所述點(diǎn)膠裝置和所述取放裝置均為擺臂式結(jié)構(gòu)。