[實用新型]一種固晶輔助設備及固晶機

有效

• 申請號: 201721862362.7
• 申請日: 2017-12-27
• 公開（公告）號: CN207731905U
• 公開（公告）日: 2018-08-14
• 發明（設計）人: 張銀鴿;王建丁;曹俊星
• 申請（專利權）人: 昆山思雷電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種固晶輔助設備，其特征在于，包括：

顯微鏡裝置，其包括工作臺A和顯微鏡，所述工作臺A用于放置帶有芯片矩陣和晶片的載體，所述顯微鏡設于所述工作臺A上方，用于放大所述載體上芯片矩陣和晶片的圖像；

第一機器視覺檢測裝置，其包括相機和圖像處理分析主機，所述相機設于所述顯微鏡的目鏡上方，用于獲取所述載體上芯片矩陣和晶片的圖像，所述圖像處理分析主機電連接所述相機，用于對所述載體上芯片矩陣和晶片的圖像進行處理并獲取所述晶片相對所述芯片矩陣的當前位置；

推移裝置，其包括推頭、第一運動機構以及第一控制系統，所述推頭用于推移所述晶片，所述第一運動機構驅動連接所述推頭，用于根據第一控制指令將所述推頭自所述當前位置移送至設定位置，所述第一控制系統電連接所述圖像處理分析主機和所述第一運動機構，用于根據所述當前位置和所述設定位置向所述第一運動機構發出第一控制指令；

其中，所述第一運動機構為三維精密移動平臺。

2.根據權利要求1所述的固晶輔助設備，其特征在于，所述三維精密移動平臺的精度為1-3um。

3.根據權利要求1所述的固晶輔助設備，其特征在于，所述顯微鏡的支架可調節設置。

4.根據權利要求1所述的固晶輔助設備，其特征在于，所述相機為CCD相機。

5.一種固晶機，包括用于放置膠體的膠盤、用于放置晶片的載物臺、用于放置載體的工作臺B、用于根據設定程序將所述膠盤中的膠體轉移到工作臺B上的載體上的點膠裝置以及用于根據設定程序將所述載物臺上的晶片轉移到所述工作臺上的載體上的取放裝置，其特征在于，所述固晶機還包括如權利要求1至4任一所述的固晶輔助設備。

6.根據權利要求5所述的固晶機，其特征在于，所述點膠裝置包括點膠頭、第二運動機構以及第二控制系統，所述點膠頭用于自所述膠盤沾取膠體和將膠體轉移到所述工作臺B上的載體上，所述第二運動機構驅動連接所述點膠頭，用于根據第二控制指令將所述點膠頭自所述膠盤移送到所述工作臺B，所述第二控制系統電連接所述第二運動機構，用于向所述第二運動機構發出第二控制指令。

7.根據權利要求6所述的固晶機，其特征在于，所述第二控制系統根據控制程序向所述第二運動機構發出第二控制指令或根據第二機器視覺檢測裝置檢測到的載體相對所述膠盤的當前位置和設定位置向所述第二運動機構發出第二控制指令。

8.根據權利要求5所述的固晶機，其特征在于，所述取放裝置包括吸嘴、第三運動機構以及第三控制系統，所述吸嘴用于自所述載物臺吸取晶片和將晶片放置于所述工作臺B上的載體上，所述第三運動機構驅動連接所述吸嘴，用于根據第三控制指令將所述吸嘴自所述載物臺移送到所述工作臺B，所述第三控制系統電連接所述第三運動機構，用于向所述第三運動機構發出第三控制指令。

9.根據權利要求8所述的固晶機，其特征在于，所述第三控制系統根據控制程序向所述第三運動機構發出第三控制指令或根據第三機器視覺檢測裝置檢測到的載體相對所述載物臺的當前位置和設定位置向所述第三運動機構發出第三控制指令。

10.根據權利要求5所述的固晶機，其特征在于，所述點膠裝置和所述取放裝置均為擺臂式結構。