[實(shí)用新型]一種用于太陽能電池制造預(yù)防疊片的壓輪裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721853963.1 | 申請日: | 2017-12-26 |
| 公開(公告)號: | CN207800575U | 公開(公告)日: | 2018-08-31 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 蔣冬 | 申請(專利權(quán))人: | 杭州大和熱磁電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 33109 | 代理人: | 尉偉敏;方琦 |
| 地址: | 310053 浙江省杭*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 壓輪 導(dǎo)向輪 壓輪裝置 壓輪軸 壓輪組 硅片 疊片 本實(shí)用新型 太陽能電池 硅片表面 輪面 行進(jìn)軌道 被壓輪 牽引軸 水平狀 邊角 多列 滾輪 預(yù)防 制造 恢復(fù) | ||
本實(shí)用新型公開了一種用于太陽能電池制造預(yù)防疊片的壓輪裝置,包括壓輪軸和置于壓輪軸上的多個壓輪組,壓輪軸位于牽引軸上方,多個壓輪組對應(yīng)多列硅片,每組壓輪組包括兩件壓輪,壓輪與導(dǎo)向輪一一對應(yīng)且位于導(dǎo)向輪的內(nèi)側(cè),壓輪輪面呈水平狀且貼近硅片表面,本實(shí)用新型的壓輪裝置將壓輪設(shè)置在導(dǎo)向輪內(nèi)側(cè)且靠近導(dǎo)向輪內(nèi)側(cè),且使壓輪輪面貼近硅片表面,使得滾輪上的硅片邊角在走偏上爬時及時被壓輪輪面碰撞而下落,恢復(fù)到原來的行進(jìn)軌道上,消除了硅片的疊片現(xiàn)象。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及到太陽能電池制造領(lǐng)域,尤其涉及到一種用于太陽能電池濕法刻蝕上料段預(yù)防疊片的壓輪裝置。
背景技術(shù)
太陽能電池生產(chǎn)制造過程中,擴(kuò)散后需要對產(chǎn)品的四周進(jìn)行刻蝕,目前大都選用濕法刻蝕的方式。
傳統(tǒng)的濕法刻蝕設(shè)備主要針對早期的156mm×156mm硅片產(chǎn)品,有5道設(shè)備和8道設(shè)備;為保證各道之間的產(chǎn)品都能夠筆直流向設(shè)備終端,如圖1和圖2所示,在上料段設(shè)有若干滾輪、導(dǎo)向輪和壓輪,硅片置于滾輪上向前行進(jìn),導(dǎo)向輪位于硅片的兩側(cè),兩件壓輪為圓形且置于硅片的中間上方,兩件壓輪的間距尺寸相對較小,且呈轉(zhuǎn)動模式,固定的設(shè)備寬度尺寸和滾輪尺寸無法調(diào)整。
隨著市場對大尺寸產(chǎn)品的需求,目前的產(chǎn)品尺寸較原有的尺寸大了0.75mm,為156.75mm×156.75mm,產(chǎn)品尺寸的增大使得導(dǎo)向輪的導(dǎo)向功能非常勉強(qiáng),時常會出現(xiàn)產(chǎn)品在運(yùn)行過程中,硅片一側(cè)邊角順著導(dǎo)向輪的斜面向上爬,過了導(dǎo)向輪之后,便與相鄰軌道的另一片產(chǎn)品局部疊在一起,在經(jīng)過后面若干個酸、堿、水槽后,疊片部位會攜帶酸、堿或水,在經(jīng)過下料段滾輪后,會污染和浸濕滾輪,同時還會污染和浸濕自動下料設(shè)備的皮帶,最終會使這一道或幾道接下來的一部分產(chǎn)品交叉受到污染,造成品質(zhì)不良,直接帶來生產(chǎn)成本的上升。
即便使用設(shè)備自帶的的壓輪,也不能保證都能讓硅片產(chǎn)品恢復(fù)到各自的軌道上,反而會在上料端產(chǎn)生大量的碎片。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型主要解決現(xiàn)有太陽能電池濕法刻蝕上料段的硅片容易走偏且與鄰道硅片疊合造成產(chǎn)品加工質(zhì)量不佳的技術(shù)問題;提供了一種用于太陽能電池濕法刻蝕上料段預(yù)防疊片的壓輪裝置。
為了解決上述存在的技術(shù)問題,本實(shí)用新型主要是采用下述技術(shù)方案:
本實(shí)用新型的一種用于太陽能電池制造預(yù)防疊片的壓輪裝置,設(shè)于濕法刻蝕設(shè)備上料段,用于太陽能電池硅片的濕法刻蝕加工,所述上料段包括牽引軸、置于所述牽引軸上的多個滾輪組,多個滾輪組對應(yīng)多列硅片,每組滾輪組包括相互間隔的若干滾輪及導(dǎo)向輪,所述導(dǎo)向輪為兩件,位于滾輪組的兩端,兩件導(dǎo)向輪的間距與所述硅片寬度相吻合,硅片置于上述滾輪上且隨滾輪轉(zhuǎn)動而牽引前行,所述壓輪裝置包括壓輪軸和置于壓輪軸上的多個壓輪組,所述壓輪軸位于所述牽引軸上方,多個壓輪組對應(yīng)多列硅片,每組壓輪組包括兩件壓輪,所述壓輪與所述導(dǎo)向輪一一對應(yīng)且位于導(dǎo)向輪的內(nèi)側(cè),壓輪輪面呈水平狀且貼近硅片表面,將壓輪設(shè)置在濕法刻蝕設(shè)備上料段的導(dǎo)向輪內(nèi)側(cè)且靠近導(dǎo)向輪內(nèi)側(cè),且使壓輪輪面貼近硅片表面,使得滾輪上的硅片邊角在走偏上爬時及時被壓輪輪面碰撞而下落,恢復(fù)到原來的行進(jìn)軌道上,消除了硅片的疊片現(xiàn)象。
作為優(yōu)選,所述壓輪軸呈靜止?fàn)睿鰤狠喒讨糜趬狠嗇S上,靜止的壓輪直接阻擋了硅片的上爬,防止了偏移的硅片不會繼續(xù)被壓輪帶動前行而碎片。
作為優(yōu)選,所述壓輪上設(shè)有缺口,所述缺口正對所述硅片的行進(jìn)方向,缺口呈V形,V形角度大于90°,缺口的一側(cè)斜面平行于硅片平面,缺口的另一側(cè)斜面朝下,采用帶缺口的壓輪且缺口面對硅片的行進(jìn)方向,當(dāng)產(chǎn)品邊角順著導(dǎo)向輪斜坡向上爬的時候就會碰到上方的壓輪缺口部位阻擋,使產(chǎn)品重新落回到滾輪上繼續(xù)前行,保證了各道之間的硅片不會相互干涉,消除了硅片的疊片現(xiàn)象。
本實(shí)用新型的有益效果是:將壓輪設(shè)置在濕法刻蝕設(shè)備上料段的導(dǎo)向輪內(nèi)側(cè)且靠近導(dǎo)向輪內(nèi)側(cè),且使壓輪輪面貼近硅片表面,使得滾輪上的硅片邊角在走偏上爬時及時被壓輪輪面碰撞而下落,恢復(fù)到原來的行進(jìn)軌道上,消除了硅片的疊片現(xiàn)象。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





