[實用新型]一種用于太陽能電池制造預防疊片的壓輪裝置有效
| 申請號: | 201721853963.1 | 申請日: | 2017-12-26 |
| 公開(公告)號: | CN207800575U | 公開(公告)日: | 2018-08-31 |
| 發明(設計)人: | 蔣冬 | 申請(專利權)人: | 杭州大和熱磁電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109 | 代理人: | 尉偉敏;方琦 |
| 地址: | 310053 浙江省杭*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 壓輪 導向輪 壓輪裝置 壓輪軸 壓輪組 硅片 疊片 本實用新型 太陽能電池 硅片表面 輪面 行進軌道 被壓輪 牽引軸 水平狀 邊角 多列 滾輪 預防 制造 恢復 | ||
1.一種用于太陽能電池制造預防疊片的壓輪裝置,設于濕法刻蝕設備的上料段,用于太陽能電池硅片(1)的濕法刻蝕加工,所述上料段包括牽引軸(2)、置于所述牽引軸上的多個滾輪組,多個滾輪組對應多列硅片,每組滾輪組包括相互間隔的若干滾輪(3)及導向輪(4),所述導向輪為兩件,位于滾輪組的兩端,兩件導向輪的間距與所述硅片的寬度相吻合,硅片置于上述滾輪上且隨滾輪轉動而牽引前行,其特征在于:所述壓輪裝置包括壓輪軸(5)和置于壓輪軸上的多個壓輪組,所述壓輪軸位于所述牽引軸上方,多個壓輪組對應多列硅片,每組壓輪組包括兩件壓輪(6),所述壓輪與所述導向輪一一對應且位于導向輪的內側,壓輪輪面呈水平狀且貼近硅片表面。
2.根據權利要求1所述的一種用于太陽能電池制造預防疊片的壓輪裝置,其特征在于:所述壓輪軸(5)呈靜止狀,所述壓輪(6)固置于壓輪軸上。
3.根據權利要求2所述的一種用于太陽能電池制造預防疊片的壓輪裝置,其特征在于:所述壓輪(6)上設有缺口(7),所述缺口正對所述硅片的行進方向,缺口呈V形,V形角度大于90°,缺口的一側斜面平行于硅片平面,缺口的另一側斜面朝下。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





