[實(shí)用新型]一種靶材冷卻裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721851177.8
• 申請日: 2017-12-26
• 公開（公告）號: CN208104529U
• 公開（公告）日: 2018-11-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉文卿;嚴(yán)佐毅;張龍;張麗
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽金美新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京挺立專利事務(wù)所(普通合伙) 11265
• 代理人: 李鑫

本實(shí)用新型屬于濺射靶材領(lǐng)域，具體來說涉及一種靶材冷卻裝置，包括靶材、靶材余料，所述靶材與所述靶材余料為一整體，所述靶材余料上設(shè)置有若干冷媒通道；本實(shí)用新型簡易方便，能夠在不增加成本的基礎(chǔ)上直接對靶材進(jìn)行冷卻，大大降低靶材溫度，提高傳熱效率，并且能夠更加均勻的冷卻靶材，提高沉積薄膜的性能。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于濺射靶材領(lǐng)域，具體來說涉及一種靶材冷卻裝置。

背景技術(shù)

在濺射靶材生產(chǎn)過程中會發(fā)出大量的熱量，如果不及時(shí)進(jìn)行冷卻，容易造成局部燒焦或呈現(xiàn)晶粒化現(xiàn)象，而且當(dāng)濺射靶材的功率增大后，溫度也會隨之升高，高溫會使得濺射靶材的使用壽命減短，造成了大量的浪費(fèi)，影響經(jīng)濟(jì)效益。

例如中國專利號201410124974.0公開了一種陰極電弧靶冷卻裝置包括靶座、靶材、及設(shè)在靶座內(nèi)部的多條冷卻水道，靶材嵌在靶座表面上；所述靶材與所述冷卻水道被銅板隔開，銅板使冷卻水道與靶材分屬不同的獨(dú)立空間，靶材與銅板相接觸；所述冷卻水道內(nèi)通過液體時(shí)，銅板受液體壓力向靶材凸出。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于，利用銅片良好的傳導(dǎo)性導(dǎo)熱，同時(shí)利用銅片將靶材與冷卻水道隔開，其設(shè)備的冷卻效果好，又不影響真空設(shè)備及生產(chǎn)效率。但是該實(shí)用新型靶材與靶座為分體式并通過銅板導(dǎo)熱，其傳熱效率較低。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種靶材冷卻裝置，能夠?qū)Π胁闹苯舆M(jìn)行冷卻，提高傳熱效率。

為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種靶材冷卻裝置，包括靶材、靶材余料，所述靶材與所述靶材余料為一整體，所述靶材余料上設(shè)置有若干冷媒通道。

進(jìn)一步的，所述靶材余料對稱設(shè)置在所述靶材的端部。

進(jìn)一步的，所述冷媒通道對稱設(shè)置。

進(jìn)一步的，所述冷媒通道兩端分別為冷媒進(jìn)口和冷媒出口。

進(jìn)一步的，相鄰所述冷媒通道的冷媒進(jìn)口和冷媒出口位置相反。

進(jìn)一步的，所述冷媒通道為圓形或矩形。

進(jìn)一步的，所述冷媒通道設(shè)置為多層。

本實(shí)用新型的有益效果為：

1.本實(shí)用新型能夠直接對靶材進(jìn)行冷卻，大大降低靶材溫度，提高傳熱效率。

2.本實(shí)用新型能夠更加均勻的冷卻靶材，提高沉積薄膜的性能。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中所示：

1-靶材；2-靶材余料；3-冷媒通道。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

如圖1所示，一種靶材冷卻裝置，包括靶材1、靶材余料2，所述靶材1與所述靶材余料2為一整體，能夠直接對所述靶材1進(jìn)行冷卻，提高傳熱效率，大大降低所述靶材1的溫度，所述靶材余料2對稱設(shè)置在所述靶材1的端部，所述靶材余料2上設(shè)置有6條對稱的冷媒通道3，所述冷媒通道3兩端分別為冷媒進(jìn)口和冷媒出口，相鄰所述冷媒通道3的冷媒進(jìn)口和冷媒出口位置相反，能夠更加均勻的冷卻所述靶材1，提高沉積薄膜的性能。

其中，所述冷媒通道3為圓形或矩形。

其中，所述冷媒通道3設(shè)置為多層，能夠提高冷卻效果。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。