[實(shí)用新型]一種靶材冷卻裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721851177.8
• 申請(qǐng)日: 2017-12-26
• 公開（公告）號(hào): CN208104529U
• 公開（公告）日: 2018-11-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉文卿;嚴(yán)佐毅;張龍;張麗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽金美新材料科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34
• 代理公司: 北京挺立專利事務(wù)所(普通合伙) 11265
• 代理人: 李鑫

1.一種靶材冷卻裝置，其特征在于：包括靶材、靶材余料，所述靶材與所述靶材余料為一整體，所述靶材余料上設(shè)置有若干冷媒通道，所述靶材余料對(duì)稱設(shè)置在所述靶材的端部，所述冷媒通道對(duì)稱設(shè)置，所述冷媒通道兩端分別為冷媒進(jìn)口和冷媒出口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1項(xiàng)所述的一種靶材冷卻裝置，其特征在于：相鄰所述冷媒通道的冷媒進(jìn)口和冷媒出口位置相反。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材冷卻裝置，其特征在于：所述冷媒通道為圓形或矩形。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材冷卻裝置，其特征在于：所述冷媒通道設(shè)置為多層。