[實(shí)用新型]帶水冷的旋轉(zhuǎn)下降裝置及具有該裝置的晶體生長(zhǎng)裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201721850789.5 | 申請(qǐng)日： | 2017-12-26 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN207811926U | 公開（公告）日： | 2018-09-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 沈彭平;柯金偉;任雄 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海煜志機(jī)電設(shè)備有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C30B15/00 | 分類號(hào)： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 上海容慧專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31287 | 代理人： | 于曉菁 |
| 地址： | 201800 上海*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 水冷桿 升降裝置 線性導(dǎo)軌 真空加熱裝置 支架 線性導(dǎo)軌滑塊 本實(shí)用新型 下降裝置 旋轉(zhuǎn)裝置 水冷 晶體生長(zhǎng)裝置 冷卻水出口 進(jìn)水管道 晶體生長(zhǎng) 密封性能 上下滑動(dòng) 均勻性 側(cè)壁 伸入 制備 支撐 應(yīng)用 | ||
1.一種帶水冷的旋轉(zhuǎn)下降裝置，其特征在于，包括支架、水冷桿、旋轉(zhuǎn)裝置、真空加熱裝置、設(shè)于所述支架上的線性導(dǎo)軌、設(shè)于所述線性導(dǎo)軌上的線性導(dǎo)軌滑塊、設(shè)于所述支架上的升降裝置及設(shè)于所述真空加熱裝置內(nèi)的工件，所述水冷桿的一端固定于所述升降裝置，另一端伸入所述真空加熱裝置并支撐所述工件，所述升降裝置與所述線性導(dǎo)軌通過所述線性導(dǎo)軌滑塊相連，所述升降裝置帶動(dòng)所述水冷桿沿所述線性導(dǎo)軌上下滑動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)裝置與所述水冷桿相連，所述水冷桿內(nèi)設(shè)有進(jìn)水管道，所述水冷桿側(cè)壁設(shè)有冷卻水出口。
2.如權(quán)利要求1所述的帶水冷的旋轉(zhuǎn)下降裝置，其特征在于，所述升降裝置包括帶有絲桿螺母的滾珠絲桿升降機(jī)和連接安裝板，所述滾珠絲桿升降機(jī)設(shè)于所述支架上，所述連接安裝板連接所述線性導(dǎo)軌滑塊與所述絲桿螺母。
3.如權(quán)利要求2所述的帶水冷的旋轉(zhuǎn)下降裝置，其特征在于，所述水冷桿上設(shè)有磁流體，所述磁流體連接所述連接安裝板與所述水冷桿。
4.如權(quán)利要求1所述的帶水冷的旋轉(zhuǎn)下降裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)裝置包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)與旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過所述旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置帶動(dòng)所述水冷桿旋轉(zhuǎn)。
5.如權(quán)利要求4所述的帶水冷的旋轉(zhuǎn)下降裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置包括兩個(gè)帶輪與皮帶，所述帶輪一個(gè)設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的電機(jī)軸上，另一個(gè)設(shè)于所述水冷桿上，所述皮帶環(huán)繞兩個(gè)帶輪。
6.如權(quán)利要求1所述的帶水冷的旋轉(zhuǎn)下降裝置，其特征在于，所述水冷桿外套設(shè)有用于密封的波紋管。
7.如權(quán)利要求1所述的帶水冷的旋轉(zhuǎn)下降裝置，其特征在于，所述冷卻水出口采用旋轉(zhuǎn)接頭。
8.一種晶體生長(zhǎng)裝置，其特征在于，包括權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的帶水冷的旋轉(zhuǎn)下降裝置。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于上海煜志機(jī)電設(shè)備有限公司，未經(jīng)上海煜志機(jī)電設(shè)備有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201721850789.5/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
