[實用新型]一種多晶硅電池片的低壓擴散設備

有效

• 申請號: 201721848397.5
• 申請日: 2017-12-26
• 公開（公告）號: CN207637830U
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發明（設計）人: 邱小永;趙慶國;李小飛;孫林飛;陸波;周海權
• 申請（專利權）人: 浙江貝盛光伏股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/22
• 代理公司: 杭州千克知識產權代理有限公司 33246
• 代理人: 裴金華

1.一種多晶硅電池片的低壓擴散設備，其特征在于，包括：爐體（1）、石英舟（2）、擴散氣混合箱（3）、抽氣機（4）、選擇閥（5）、空氣排放管（6）和廢氣收集箱（7）；

所述爐體（1）包括，圓筒形的立式爐身（11）、所述立式爐身（11）頂部鉸接的爐蓋（12）以及所述立式爐身（11）中軸線位置處的排氣管（13），所述立式爐身（11）包括，內部的爐腔（111）和外側的加熱爐壁（112）；

所述石英舟（2）設置在所述爐腔（111）內，包括，透氣外殼（21）和硅片擱架（22），所述透氣外殼（21）上下頂面處設置有排氣穿孔，所述排氣管（13）穿過所述透氣外殼（21）的中心，所述透氣外殼（21）與所述爐腔（111）內壁設置有間隔層（1111），所述間隔層（1111）與所述擴散氣混合箱（3）通過進氣管（31）相連；

所述排氣管（13）與設置在所述爐體（1）底部的抽氣機（4）相連，所述抽氣機（4）與所述選擇閥（5）相連，所述空氣排放管（6）和廢氣收集箱（7）并聯在所述選擇閥（5）的后端。

2.根據權利要求1所述的一種多晶硅電池片的低壓擴散設備，其特征在于，所述硅片擱架（22）上設置有擱槽（221），所述擱槽（221）的寬度為0.3-0.6mm，所述擱槽（221）的間距為1.5-2.38mm。

3.根據權利要求1所述的一種多晶硅電池片的低壓擴散設備，其特征在于，所述透氣外殼（21）側壁上設置有透氣孔（211）。

4.根據權利要求1所述的一種多晶硅電池片的低壓擴散設備，其特征在于，所述排氣管（13）朝向所述硅片擱架（22）側設置有排氣孔（131）。

5.根據權利要求1所述的一種多晶硅電池片的低壓擴散設備，其特征在于，所述硅片擱架（22）分成四組，以所述排氣管（13）軸線為軸線四等分圓周均布。

6.根據權利要求1所述的一種多晶硅電池片的低壓擴散設備，其特征在于，所述加熱爐壁（112）內設置有電加熱絲（1121）。

7.根據權利要求1所述的一種多晶硅電池片的低壓擴散設備，其特征在于，所述爐蓋（12）底部設置有密封蓋（121），所述密封蓋（121）在所述爐蓋（12）處于閉合狀態時與所述透氣外殼（21）頂部相密封。

8.根據權利要求1所述的一種多晶硅電池片的低壓擴散設備，其特征在于，所述透氣孔（211）為橫向條形孔，其寬度為1-2mm，其間隔為0.5-0.6mm。