[實用新型]晶圓傳送探測傳感裝置

有效

• 申請號: 201721845058.1
• 申請日: 2017-12-26
• 公開（公告）號: CN207623549U
• 公開（公告）日: 2018-07-17
• 發明（設計）人: 張德培
• 申請（專利權）人: 上海陛通半導體能源科技股份有限公司
• 主分類號: G01V8/10
• 分類號: G01V8/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

晶圓傳送探測傳感裝置，包括固定圓盤、透光圓盤、傳感器支架和傳感器。所述的傳感器與傳感器支架相連，傳感器支架與固定圓盤配合，所述的透光圓盤與固定圓盤相連。所述的傳感器支架，一端有折彎，折彎面上有槽口，用于固定傳感器信號連接接頭；傳感器另一端有兩個折面，折面上有孔洞，用于與固定圓盤固定。所述的固定圓盤，采用特氟龍材料，呈圓環狀。本實用新型的優點是：結構簡單，易于組裝，晶圓位置探測準確。

技術領域

本實用新型涉及半導體晶圓制造領域，尤其涉及晶圓傳送探測傳感裝置。

背景技術

半導體集成電路制造領域是國家近年來大力發展的行業，是國家未來經濟支柱產業。半導體生產設備一般擁有一個傳輸腔和多個反應腔，晶圓生產經過多個步驟，需要在反應腔之間進行多次傳送，如何探測判斷晶圓在傳送過程中是否到達指定位置尤為重要。本實用新型將設計一款晶圓探測傳感裝置，檢測晶圓是否到達指定傳送位置。

發明內容

為實現上述目的，本實用新型所提供的技術方案是：晶圓傳送探測傳感裝置，包括固定圓盤、透光圓盤、傳感器支架和傳感器。所述的傳感器與傳感器支架相連，傳感器支架與固定圓盤配合，所述的透光圓盤與固定圓盤相連;

所述的傳感器，與傳感器支架相連，光發射端朝向透光圓盤;

所述的傳感器支架，一端有折彎，折彎面上有槽口，用于固定傳感器信號連接線接頭；傳感器另一端有兩個折面，折面上有孔洞，用于與固定圓盤固定;

所述的固定圓盤，采用特氟龍材料，呈圓環狀，內徑小于透光圓盤直徑；固定圓盤上有多個螺紋孔，分別與傳感器支架和半導體腔體固定;

所述的透光圓盤，材料采用石英玻璃，硬度高，且材料致密性好，可保持較高真空度；透光圓盤外形呈圓形，直徑大于固定圓盤內徑;

使用時，先將傳感器通過傳感器支架中間兩個孔洞固定，傳感器信號線接頭固定在傳感器支架折彎面槽口；然后，通過螺釘將傳感器與固定圓盤鎖緊；最后，將透光圓盤放置在固定圓盤下方。將組裝好的探測傳感器裝置固定在腔體上，進行晶圓探測工作;

本實用新型的優點是：結構簡單，易于組裝，晶圓位置探測準確。

附圖說明

圖1為晶圓傳送探測傳感裝置整體裝配示意圖；

圖2為晶圓傳送探測傳感裝置固定圓盤示意圖；

圖3為晶圓傳送探測傳感裝置傳感器支架示意圖；

1.固定圓盤；2.透光圓盤；3.傳感器支架；4.傳感器。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型做進一步說明，本實用新型較佳實施例為：參見附圖1、附圖2和附圖3。本實用新型所提供的技術方案是：晶圓傳送探測傳感裝置，包括固定圓盤1、透光圓盤2、傳感器支架3和傳感器4。所述的傳感器4與傳感器支架3相連，傳感器支架3與固定圓盤1配合，所述的透光圓盤2與固定圓盤1相連。使用時，先將傳感器4通過傳感器支架3中間兩個孔洞固定，傳感器4信號線接頭固定在傳感器支架3折彎面槽口；然后，通過螺釘將傳感器4與固定圓盤1鎖緊；最后，將透光圓盤2放置在固定圓盤1下方。將組裝好的探測傳感器裝置固定在腔體上，進行晶圓探測工作;

以上所述實例只為本實用新型之較佳實例，并非以此限制本實用新型的實施范圍。故凡依本實用新型的形狀、原理所做的變化，均應涵蓋在本實用新型保護范圍內。