[實用新型]一種對稱式雙高真空泵抽氣系統(tǒng)以及鍍膜系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721837439.5
• 申請日: 2017-12-25
• 公開（公告）號: CN207632888U
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉智山;王安平
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州浩聯(lián)光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 趙琳琳

1.一種對稱式雙高真空泵抽氣系統(tǒng)，其特征在于，包括：真空室、第一高真空泵、第二高真空泵、第一高真空閥和第二高真空閥；

所述真空室的兩側(cè)對稱設(shè)置有第一泵室和第二泵室；

所述第一高真空泵設(shè)置于所述第一泵室內(nèi)；

所述第二高真空泵設(shè)置于所述第二泵室內(nèi)；

所述第一高真空閥設(shè)置于所述真空室內(nèi)靠近第一高真空泵的通道處；

所述第二高真空閥設(shè)置于所述真空室內(nèi)靠近第二高真空泵的通道處。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對稱式雙高真空泵抽氣系統(tǒng)，其特征在于，還包括：控制器、第一蝶閥和第二蝶閥；

所述第一蝶閥設(shè)置于所述第一泵室且位于第一高真空泵的上方；

所述第二蝶閥設(shè)置于所述第二泵室且位于第二高真空泵的上方；

所述控制器分別與所述第一蝶閥和第二蝶閥信號連接，用于控制每個蝶閥的張口開度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對稱式雙高真空泵抽氣系統(tǒng)，其特征在于，

所述第一泵室連接有第一分流通道；

所述第二泵室連接有第二分流通道；

所述第一分流通道與第二分流通道均在所述真空室的上方匯集于一主流通道。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的對稱式雙高真空泵抽氣系統(tǒng)，其特征在于，所述第一分流通道上設(shè)置有一前級閥。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的對稱式雙高真空泵抽氣系統(tǒng)，其特征在于，所述第二分流通道上設(shè)置有一前級閥。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的對稱式雙高真空泵抽氣系統(tǒng)，其特征在于，所述第二分流通道與所述真空室連接有一支路通道，所述支路通道上設(shè)置有一前級閥。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的對稱式雙高真空泵抽氣系統(tǒng)，其特征在于，所述主流通道上設(shè)置有羅茨泵和機械泵，所述機械泵與氣體排出口連接，所述氣體排出口設(shè)置有一過濾網(wǎng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對稱式雙高真空泵抽氣系統(tǒng)，其特征在于，所述真空室的下方設(shè)置有工藝氣體進(jìn)口。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對稱式雙高真空泵抽氣系統(tǒng)，其特征在于，所述真空室的靠近第一高真空閥的位置設(shè)置有放氣閥和過濾網(wǎng)。

10.一種鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-9中任一項所述的對稱式雙高真空泵抽氣系統(tǒng)。