[實用新型]一種對稱式雙高真空泵抽氣系統以及鍍膜系統

有效

• 申請號: 201721837439.5
• 申請日: 2017-12-25
• 公開（公告）號: CN207632888U
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發明（設計）人: 劉智山;王安平
• 申請（專利權）人: 蘇州浩聯光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 趙琳琳

本實用新型涉及鍍膜技術領域，尤其是涉及一種對稱式雙高真空泵抽氣系統以及鍍膜系統，包括：真空室、第一高真空泵、第二高真空泵、第一高真空閥和第二高真空閥；所述真空室的兩側對稱設置有第一泵室和第二泵室；所述第一高真空泵設置于所述第一泵室內；所述第二高真空泵設置于所述第二泵室內；所述第一高真空閥設置于所述真空室內靠近第一高真空泵的通道處；所述第二高真空閥設置于所述真空室內靠近第二高真空泵的通道處。本實用新型因為采用了雙高真空泵和雙閥設計，整體抽氣速度提高了一倍。同時采用的是左右對稱結構設計使加入到真空室內的工藝氣體從左右兩邊均勻抽走，能改善鍍膜膜層的成膜速率和均勻性，提高了成品產出率。

技術領域

本實用新型涉及鍍膜技術領域，尤其是涉及一種對稱式雙高真空泵抽氣系統以及鍍膜系統。

背景技術

隨著光通訊行業的快速發展，光學鍍膜產品應用越來越廣泛，對光學鍍膜產品的需求也逐年增加。光學鍍膜機抽氣系統目前普遍使用的前后結構設計。真空腔體通過高真空閥與高真空泵相連，真空室內的氣體通過抽氣閥后進入真空泵被抽走排出，使真空室達到高真空狀態，符合鍍膜工藝要求的高真空環境。由于鍍膜真空室尺寸較大、密封面較多、抽氣系統路徑長等居多因素，前后或上下結構抽氣系統的鍍膜機抽氣時間長，工藝局限性大，很大程度上限制了鍍膜的產出和應用。

公開于該背景技術部分的信息僅僅旨在加深對本申請的總體背景技術的理解，而不應當被視為承認或以任何形式暗示該信息構成已為本領域技術人員所公知的現有技術。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種對稱式雙高真空泵抽氣系統以及鍍膜系統，以解決現有技術中存在的技術問題。

為了實現上述目的，本實用新型采用以下技術方案：

第一方面，本實用新型提供一種對稱式雙高真空泵抽氣系統，其包括：真空室、第一高真空泵、第二高真空泵、第一高真空閥和第二高真空閥；

所述真空室的兩側對稱設置有第一泵室和第二泵室；

所述第一高真空泵設置于所述第一泵室內；

所述第二高真空泵設置于所述第二泵室內；

所述第一高真空閥設置于所述真空室內靠近第一高真空泵的通道處；

所述第二高真空閥設置于所述真空室內靠近第二高真空泵的通道處。

作為一種進一步的技術方案，該對稱式雙高真空泵抽氣系統還包括：控制器、第一蝶閥和第二蝶閥；

所述第一蝶閥設置于所述第一泵室且位于第一高真空泵的上方；

所述第二蝶閥設置于所述第二泵室且位于第二高真空泵的上方；

所述控制器分別與所述第一蝶閥和第二蝶閥信號連接，用于控制每個蝶閥的張口開度。

作為一種進一步的技術方案，所述第一泵室連接有第一分流通道；所述第二泵室連接有第二分流通道；

所述第一分流通道與第二分流通道均在所述真空室的上方匯集于一主流通道。

作為一種進一步的技術方案，所述第一分流通道上設置有一前級閥。

作為一種進一步的技術方案，所述第二分流通道上設置有一前級閥。

作為一種進一步的技術方案，所述第二分流通道與所述真空室連接有一支路通道，所述支路通道上設置有一前級閥。

作為一種進一步的技術方案，所述主流通道上設置有羅茨泵和機械泵，所述機械泵與氣體排出口連接，所述氣體排出口設置有一過濾網。

作為一種進一步的技術方案，所述真空室的下方設置有工藝氣體進口。