[實用新型]一種半導體自動封裝系統去流道的電機驅動機構有效
| 申請號： | 201721836936.3 | 申請日： | 2017-12-25 |
| 公開（公告）號： | CN207966932U | 公開（公告）日： | 2018-10-12 |
| 發明（設計）人： | 陳昌太;劉寶;代迎桃;胡鵬 | 申請（專利權）人： | 安徽大華半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市高新*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 流道 電機驅動機構 自動封裝系統 導向軸 固定板 半導體 本實用新型 模具固定板 直線軸承 支撐柱 基板 模具 伺服電機驅動 電機安裝板 螺母固定板 工藝過程 連接絲桿 上下運動 絲桿螺母 伺服電機 同步帶輪 同步帶 上端 沖切 絲桿 下端 | ||
1.一種半導體自動封裝系統去流道的電機驅動機構，自下而上依次設有去流道模具固定板(5)、基板(1)、固定板(2)和絲桿螺母固定板(4)；
其中，所述基板(1)和固定板(2)之間設有支撐柱(8)連接、支撐柱(8)中設有直線軸承(9)，所述直線軸承(9)內設有導向軸(3)；
所述導向軸(3)可以在直線軸承(9)中上下滑動；
所述導向軸(3)上端連接絲桿螺母固定板(4)；
所述導向軸(3)下端連接去流道模具固定板(5)；
所述固定板(2)上固定連接一個絲桿(6)，所述絲桿(6)的外側設有外螺紋，所述外螺紋與絲桿螺母(7)的內螺紋對應，所述絲桿螺母(7)與絲桿螺母固定板(4)固定連接，絲桿(6)下端固定連接一個同步帶輪(11)，當同步帶輪(11)轉動，所述絲桿(6)沿自身軸心轉動；
所述同步帶輪(11)通過同步帶(13)和從屬同步帶輪(12)相連，所述同步帶輪(12)安裝在伺服電機(14)的轉動軸上，所述伺服電機(14)安裝在電機安裝板(15)上，所述電機安裝板(15)通過連接塊(16)固定在所述固定板(2)上。
2.根據權利要求1所述的一種半導體自動封裝系統去流道的電機驅動機構，其特征在于：基板(1)和固定板(2)之間有兩個或兩個以上支撐柱(8)連接，每個支撐柱(8)中均設有直線軸承(9)，每個直線軸承(9)內均設有導向軸(3)。
3.根據權利要求2所述的一種半導體自動封裝系統去流道的電機驅動機構，其特征在于：所述兩個或兩個以上的支撐柱(8)尺寸相同。
4.根據權利要求1所述的一種半導體自動封裝系統去流道的電機驅動機構，其特征在于：所述去流道模具固定板(5)兩側安裝導向板(10)。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
