[實用新型]流體流量調節(jié)裝置及流體輸送設備

有效

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• 申請日: 2017-12-25
• 公開（公告）號: CN207602530U
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發(fā)明（設計）人: 劉現(xiàn)營
• 申請（專利權）人: 新陽硅密（上海）半導體技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海脫穎律師事務所 31259
• 代理人: 李強

本實用新型公開了一種流體流量調節(jié)裝置及流體輸送設備。本實用新型提供一種流體流量調節(jié)裝置。所述流體流量調節(jié)裝置包括支撐件、保持板及抵接件。所述保持板設置在所述支撐件上，所述保持板用于支撐流體傳輸裝置。所述抵接件設置在所述支撐件上，并與所述保持板正對設置；所述抵接件相對于所述保持板可靠近及遠離地設置，以擠壓及松開流體傳輸裝置。本實用新型流體流量調節(jié)裝置結構精簡且便利于操作。

技術領域

本實用新型涉及一種液體流量的調節(jié)結構，特別是一種可適用于半導體加工領域的流體流量調節(jié)裝置及流體輸送設備。

背景技術

很多流體輸送設備，需要使用氣體或者液體作為工作物質，流體在設備里面通過諸如塑膠管道流通。特別是，在半導體濕法工藝設備中，諸如晶圓的鍍膜、清洗、蝕刻、去膠等設備，需要采用很多粗細不一的塑膠管道。

目前，很多用流體作為工作物質的設備，需要把流體摻混均勻，比如把化學藥液摻混均勻，使流體各處濃度一致，就需要泵驅動在管路中快速循環(huán)，泵的功率大，流體循環(huán)速度才能快，循環(huán)速度慢了流體均勻性達不到要求，循環(huán)速度快就使泵轉速快多耗能源，泵磨損老化加快，壽命縮短，泵用幾年就要換新的；很多流體循環(huán)管路需要調節(jié)流量，流量都有設計余量，從最大流量開始，把流量調小到剛好能滿足使用要求，節(jié)省流體，又減少流體循環(huán)動力消耗。現(xiàn)有技術是在流體管路中串聯(lián)流量調節(jié)閥，在半導體加工設備的流體管路中，流量調節(jié)閥調節(jié)流量時，零件之間會摩擦產生很多微小顆粒物混入流體，影響加工質量，就用特別好非常貴的材料做閥，減少顆粒物的產生，這樣的流量調節(jié)閥很貴，增加了成本，管路中串聯(lián)流量調節(jié)閥還增加了管接頭數(shù)量，占用設備內空間增多，不利于設備結構緊湊化。

實用新型內容

本實用新型的目的之一是為了克服現(xiàn)有技術中的不足，提供一種結構精簡且便利于操作的流體流量調節(jié)裝置及流體輸送設備。

為實現(xiàn)以上目的，本實用新型通過以下技術方案實現(xiàn)：

本實用新型提供一種流體流量調節(jié)裝置。所述流體流量調節(jié)裝置包括支撐件、保持板及抵接件。所述保持板設置在所述支撐件上，所述保持板用于支撐流體傳輸裝置。所述抵接件設置在所述支撐件上，并與所述保持板正對設置；所述抵接件相對于所述保持板可靠近及遠離地設置，以擠壓及松開流體傳輸裝置。

優(yōu)選地，所述支撐件包括支撐柱及安裝板。所述安裝板設置在所述支撐柱上。所述保持板設置在所述支撐柱上，并可與所述安裝板正對設置。所述抵接件設置在所述安裝板上。

優(yōu)選地，所述安裝板上設置有螺紋孔。所述抵接件包括螺桿。所述螺桿與所述螺紋孔螺紋配合并可旋緊及旋松地設置，以使得所述抵接件可靠近及遠離所述保持板地設置。

優(yōu)選地，所述保持板相對于所述支撐柱可轉動地設置，以可使得所述保持板轉動至與至少部分所述安裝板錯位設置。

優(yōu)選地，所述的流體流量調節(jié)裝置還包括第二支撐柱。所述第二支撐柱與所述支撐柱間隔設置。所述安裝板同時設置在所述第二支撐柱及所述支撐柱上。

優(yōu)選地，所述保持板相對于所述支撐柱可轉動地設置。所述保持板設置有夾持部。所述夾持部可夾持及松開所述第二支撐柱地設置。

優(yōu)選地，所述第二支撐柱的自由端設置有臺階。所述流體流量調節(jié)裝置還包括緊固螺母。所述緊固螺母與所述第二支撐柱的自由端通過螺紋緊固配合。所述夾持部設置在所述緊固螺母與所述臺階之間。

優(yōu)選地，所述保持板上設置有限位槽。所述限位槽用于容置部分流體傳輸裝置。

優(yōu)選地，所述的流體流量調節(jié)裝置還包括驅動裝置。所述驅動裝置可驅動所述抵接件靠近及遠離所述保持板地設置。

優(yōu)選地，所述流體流量調節(jié)裝置用于半導體濕法加工設備。