[實用新型]流體流量調節裝置及流體輸送設備

有效

• 申請號: 201721833469.9
• 申請日: 2017-12-25
• 公開（公告）號: CN207602530U
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發明（設計）人: 劉現營
• 申請（專利權）人: 新陽硅密（上海）半導體技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海脫穎律師事務所 31259
• 代理人: 李強

1.一種流體流量調節裝置，其特征在于，包括：

支撐件；

保持板，所述保持板設置在所述支撐件上，所述保持板用于支撐流體傳輸裝置；及

抵接件，所述抵接件設置在所述支撐件上，并與所述保持板正對設置；所述抵接件相對于所述保持板可靠近及遠離地設置，以擠壓及松開流體傳輸裝置。

2.根據權利要求1所述的流體流量調節裝置，其特征在于：

所述支撐件包括支撐柱及安裝板；

所述安裝板設置在所述支撐柱上；

所述保持板設置在所述支撐柱上，并可與所述安裝板正對設置；

所述抵接件設置在所述安裝板上。

3.根據權利要求2所述的流體流量調節裝置，其特征在于：

所述安裝板上設置有螺紋孔；

所述抵接件包括螺桿；

所述螺桿與所述螺紋孔螺紋配合并可旋緊及旋松地設置，以使得所述抵接件可靠近及遠離所述保持板地設置。

4.根據權利要求2所述的流體流量調節裝置，其特征在于：

所述保持板相對于所述支撐柱可轉動地設置，以可使得所述保持板轉動至與至少部分所述安裝板錯位設置。

5.根據權利要求2所述的流體流量調節裝置，其特征在于，還包括：

第二支撐柱，所述第二支撐柱與所述支撐柱間隔設置；

所述安裝板同時設置在所述第二支撐柱及所述支撐柱上。

6.根據權利要求5所述的流體流量調節裝置，其特征在于：

所述保持板相對于所述支撐柱可轉動地設置；

所述保持板設置有夾持部；

所述夾持部可夾持及松開所述第二支撐柱地設置。

7.根據權利要求6所述的流體流量調節裝置，其特征在于：

所述第二支撐柱的自由端設置有臺階；

所述流體流量調節裝置還包括緊固螺母；

所述緊固螺母與所述第二支撐柱的自由端通過螺紋緊固配合；

所述夾持部設置在所述緊固螺母與所述臺階之間。

8.根據權利要求1所述的流體流量調節裝置，其特征在于：

所述保持板上設置有限位槽；

所述限位槽用于容置部分流體傳輸裝置。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的流體流量調節裝置，其特征在于，還包括：

驅動裝置，所述驅動裝置可驅動所述抵接件靠近及遠離所述保持板地設置。

10.根據權利要求1至8中任一項所述的流體流量調節裝置，其特征在于：

所述流體流量調節裝置用于半導體濕法加工設備。

11.根據權利要求1至8中任一項所述的流體流量調節裝置，其特征在于：

所述流體流量調節裝置為可產生紊流的調節裝置。

12.一種流體輸送設備，其特征在于，包括：

根據權利要求1至11中任一項所述的流體流量調節裝置；及

流體傳輸裝置，所述流體傳輸裝置延伸至所述保持板上。

13.根據權利要求12所述的流體輸送設備，其特征在于：

所述流體傳輸裝置包括傳輸管及保持管；

所述保持管套設在所述傳輸管的外周壁上；且

所述保持管為范性形變結構。