[實用新型]一種提高HMDS噴涂均勻性的結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721833112.0 | 申請日： | 2017-12-25 |
| 公開（公告）號： | CN208266058U | 公開（公告）日： | 2018-12-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 曾艷新;劉偉;任思雨;蘇君海;李建華 | 申請（專利權(quán)）人： | 信利（惠州）智能顯示有限公司 |
| 主分類號： | C03C17/00 | 分類號： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202 | 代理人： | 鄧聰權(quán) |
| 地址： | 516029 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 噴涂均勻 噴嘴 大尺寸玻璃基板 本實用新型 供給管路 噴涂腔 光刻 室內(nèi) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種提高HMDS噴涂均勻性的結(jié)構(gòu)，其特征在于，在所述HMDS的噴涂腔室內(nèi)設(shè)置若干個HMDS噴嘴，各所述HMDS噴嘴與HMDS供給管路連接，所述HMDS供給管路上設(shè)有各所述HMDS噴嘴的控制閥門，用于控制所述HMDS噴嘴開啟、關(guān)閉及HMDS流量調(diào)節(jié)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種提高HMDS噴涂均勻性的結(jié)構(gòu)，其特征在于，設(shè)置所述HMDS噴嘴5個，分別位于所述腔室的頂蓋四角以及中心。
3.如權(quán)利要求2所述的一種提高HMDS噴涂均勻性的結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述HMDS噴嘴形狀為圓柱形。
4.如權(quán)利要求2所述的一種提高HMDS噴涂均勻性的結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述HMDS噴嘴形狀為錐形。
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于信利（惠州）智能顯示有限公司，未經(jīng)信利（惠州）智能顯示有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201721833112.0/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
