[實用新型]一種提高HMDS噴涂均勻性的結構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721833112.0
• 申請日: 2017-12-25
• 公開（公告）號: CN208266058U
• 公開（公告）日: 2018-12-21
• 發(fā)明（設計）人: 曾艷新;劉偉;任思雨;蘇君海;李建華
• 申請（專利權）人: 信利（惠州）智能顯示有限公司
• 主分類號: C03C17/00
• 分類號: C03C17/00
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 鄧聰權

本實用新型涉及光刻領域，公開了一種提高HMDS噴涂均勻性的結構，在所述HMDS的噴涂腔室內(nèi)設置若干個HMDS噴嘴，各所述HMDS噴嘴與HMDS供給管路連接。采用該技術方案有利于提高大尺寸玻璃基板HMDS噴涂均勻性。

技術領域

本實用新型涉及光刻領域，特別涉及一種提高HMDS噴涂均勻性的結構。

背景技術

在平板顯示成像制程中，玻璃涂膠前會經(jīng)過清洗—涂HMDS—去水烘干—冷卻—涂膠，其中涂HMDS的作用主要是增強光刻膠與玻璃表面非金屬、金屬的黏附性，一般使用接觸角大小進行表征。目前設備結構在噴涂腔室內(nèi)頂蓋中心有一個噴嘴，玻璃進入后做HMDS涂敷時，先對腔室抽真空，然后噴嘴噴出HMDS，玻璃邊緣部分接觸到的HMDS相對稍小，因此，也就導致了玻璃邊緣部分接觸角相對偏小。做玻璃接觸角測試時，會測量多個點，當每個測量點的接觸角大小相差大，也就是均一性比較差時，涂膠、成像后會因為表面張力差異產(chǎn)生圖形走線小缺口不良，甚至斷線。同時也會因有的玻璃表面區(qū)域接觸角過大而黏附性過強，導致脫膜不凈。

實用新型內(nèi)容

鑒于上述問題，本實用新型實施例的目的在于提供一種提高HMDS噴涂均勻性的結構，有利于提高大尺寸玻璃基板HMDS噴涂均勻性。

本實用新型實施例提供的一種提高HMDS噴涂均勻性的結構，其特征在于，在所述HMDS的噴涂腔室內(nèi)設置若干個HMDS噴嘴，各所述HMDS噴嘴與HMDS供給管路連接。

可選地，所述HMDS供給管路上設有各所述HMDS噴嘴的控制閥門，用于控制所述HMDS噴嘴開啟、關閉及HMDS流量調(diào)節(jié)。

可選地，設置所述HMDS噴嘴5個，分別位于所述腔室的頂蓋四角以及中心。

可選地，所述HMDS噴嘴形狀為圓柱形。

可選地，所述HMDS噴嘴形狀為錐形。

由上可見，應用本實施例技術方案，由于在所述腔室頂蓋的四個角、中心各有噴嘴分布，有利于提高大尺寸玻璃基板HMDS噴涂均勻性，使得接觸角均一，改善圖形走線小缺口以及脫膜不凈。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型提供的一種提高HMDS噴涂均勻性的結構示意圖；

圖2為本實用新型提供的另一種提高HMDS噴涂均勻性的結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

實施例：

本實施例提供一種提高HMDS噴涂均勻性的結構，如圖1所示，在所述HMDS的噴涂腔室10內(nèi)設置若干個HMDS噴嘴20，各所述HMDS噴嘴20與HMDS供給管路30連接。所述HMDS供給管路30上設有各所述HMDS噴嘴20的控制閥門，用于控制所述HMDS噴嘴20開啟、關閉及HMDS流量調(diào)節(jié)。可以但不限于，設置所述HMDS噴嘴20為5個，分別位于所述腔室10的頂蓋四角以及中心。所述HMDS噴嘴形狀為圓柱形、錐形或其他形狀，可以根據(jù)需要設計噴嘴形狀，如圖1和2所示。所述接觸角為在氣、液、固三相交點處所作的氣-液界面的切線，此切線在液體一方的與固-液交界線之間的夾角θ，是潤濕程度的量度。