[實用新型]一種超大型高精密面板測量儀器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721827309.3
• 申請日: 2017-12-25
• 公開（公告）號: CN207851457U
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬觀嵐
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇才道精密儀器有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及一種超大型高精密面板測量儀器，具有工作臺；其特征在于：所述工作臺設(shè)置在底座上，所述工作臺具有光學玻璃，所述光學玻璃下面安裝有點光源，所述工作臺的垂直方向上橫置有龍門結(jié)構(gòu)的X軸傳動架，所述工作臺的徑向設(shè)有Y軸傳動架，金相顯微鏡通過固定板豎直設(shè)置在X軸傳動架上，所述X軸傳動架和Y軸傳動架的端部分別連接各自的伺服電機，所述金相顯微鏡的相機鏡頭正對有點光源，本實用新型的技術(shù)方案采用龍門移動式結(jié)構(gòu)，雙邊支撐，橫梁重量輕、采用金相顯微鏡盒水平鏡頭后誤差小，同時減少對絲桿、導軌的磨損，長時間使用測量精度穩(wěn)定。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種精密儀器，尤其是涉及一種超大型高精密面板測量儀器。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的液晶大型面板導電離子的觀察和測量精度數(shù)據(jù)都是通過小型測量儀器進行，同時自動化程度低，其精度和結(jié)構(gòu)不能滿足大型面板的測量需求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提供一種結(jié)構(gòu)移動方便，能夠測量大型面板，且測量精度穩(wěn)定的一種超大型高精密面板測量儀器。

實現(xiàn)本發(fā)明目的的技術(shù)方案是：一種超大型高精密面板測量儀器，具有工作臺；其特征在于：所述工作臺設(shè)置在底座上，所述工作臺具有光學玻璃，所述光學玻璃下面安裝有點光源，所述工作臺的垂直方向上橫置有龍門結(jié)構(gòu)的X軸傳動架，所述工作臺的徑向設(shè)有Y軸傳動架，金相顯微鏡通過固定板豎直設(shè)置在X軸傳動架上，所述X軸傳動架和Y軸傳動架的端部分別連接各自的伺服電機，所述金相顯微鏡的相機鏡頭正對有點光源。

更進一步的優(yōu)化方案是所述的一種超大型高精密面板測量儀器，在所述X軸傳動架上滑動設(shè)置有Z軸傳動架，所述金相顯微鏡在所述Z軸傳動架做上下移動，所述Z軸傳動架的頂端電連接Z軸電機。

更進一步的優(yōu)化方案是所述的一種超大型高精密面板測量儀器，所述X軸傳動架包括X軸同步帶、X軸限位塊和下燈線輪，所述X軸同步帶套接在下燈線輪上并帶動Z軸傳動架在工作臺的X軸方向上移動。

更進一步的優(yōu)化方案是所述的一種超大型高精密面板測量儀器，所述X軸傳動架上還設(shè)有油墨標記，所述油墨標記靠近金相顯微鏡。

更進一步的優(yōu)化方案是所述的一種超大型高精密面板測量儀器，所述X軸傳動架的兩邊設(shè)有橫梁立體支架，所述橫梁立體支架的底部設(shè)置在Y軸傳動架上并在所述工作臺的Y軸上滑動，所述橫梁立體支架上設(shè)有限位膠固定塊。

更進一步的優(yōu)化方案是所述的一種超大型高精密面板測量儀器，所述Z軸傳動架上設(shè)有水平鏡頭，所述水平鏡頭用于觀測兩側(cè)截面。

采用上述技術(shù)方案后，本發(fā)明具有以下積極的效果：

(1)本發(fā)明的技術(shù)方案采用龍門移動式結(jié)構(gòu)，雙邊支撐，橫梁重量輕、采用金相顯微鏡盒水平鏡頭后誤差小，同時減少對絲桿、導軌的磨損，長時間使用測量精度穩(wěn)定。

附圖說明

為了使本發(fā)明的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實施例并結(jié)合附圖，對本發(fā)明作進一步詳細的說明，其中 :

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

(實施例1)

見圖1所示，本發(fā)明具有一種超大型高精密面板測量儀器，具有工作臺1；所述工作臺1設(shè)置在底座2上，所述工作臺1具有光學玻璃3，所述光學玻璃3下面安裝有點光源4，所述工作臺1的垂直方向上橫置有龍門結(jié)構(gòu)的X軸傳動架5，所述工作臺1的徑向設(shè)有Y軸傳動架6，金相顯微鏡7通過固定板豎直設(shè)置在X軸傳動架5上，所述X軸傳動架5和Y軸傳動架6的端部分別連接各自的伺服電機，所述金相顯微鏡7的相機鏡頭10正對有點光源4。在所述X軸傳動架5上滑動設(shè)置有Z軸傳動架8，所述金相顯微鏡7在所述Z軸傳動架8做上下移動，所述Z軸傳動架8的頂端電連接Z軸電機9。