[實用新型]一種超大型高精密面板測量儀器有效
| 申請號: | 201721827309.3 | 申請日: | 2017-12-25 |
| 公開(公告)號: | CN207851457U | 公開(公告)日: | 2018-09-11 |
| 發明(設計)人: | 馬觀嵐 | 申請(專利權)人: | 江蘇才道精密儀器有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/13 | 分類號: | G02F1/13 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 215300 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 工作臺 金相顯微鏡 光學玻璃 本實用新型 測量儀器 傳動架 高精密 光源 龍門移動式 龍門結構 使用測量 豎直設置 雙邊支撐 水平鏡頭 伺服電機 相機鏡頭 固定板 重量輕 橫梁 導軌 對絲 上橫 正對 底座 磨損 | ||
1.一種超大型高精密面板測量儀器,具有工作臺(1);其特征在于:所述工作臺(1)設置在底座(2)上,所述工作臺(1)具有光學玻璃(3),所述光學玻璃(3)下面安裝有點光源(4),所述工作臺(1)的垂直方向上橫置有龍門結構的X軸傳動架(5),所述工作臺(1)的徑向設有Y軸傳動架(6),金相顯微鏡(7)通過固定板豎直設置在X軸傳動架(5)上,所述X軸傳動架(5)和Y軸傳動架(6)的端部分別連接各自的伺服電機,所述金相顯微鏡(7)的相機鏡頭(10)正對有點光源(4)。
2.根據權利要求1所述的一種超大型高精密面板測量儀器,其特征在于:在所述X軸傳動架(5)上滑動設置有Z軸傳動架(8),所述金相顯微鏡(7)在所述Z軸傳動架(8)做上下移動,所述Z軸傳動架(8)的頂端電連接Z軸電機(9)。
3.根據權利要求1所述的一種超大型高精密面板測量儀器,其特征在于:所述X軸傳動架(5)包括X軸同步帶(51)、X軸限位塊(52)和下燈線輪(53),所述X軸同步帶(51)套接在下燈線輪(53)上并帶動Z軸傳動架(8)在工作臺(1)的X軸方向上移動。
4.根據權利要求1所述的一種超大型高精密面板測量儀器,其特征在于:所述X軸傳動架(5)上還設有油墨標記(14),所述油墨標記(14)靠近金相顯微鏡(7)。
5.根據權利要求1所述的一種超大型高精密面板測量儀器,其特征在于:所述X軸傳動架(5)的兩邊設有橫梁立體支架(13),所述橫梁立體支架(13)的底部設置在Y軸傳動架(6)上并在所述工作臺(1)的Y軸上滑動,所述橫梁立體支架(13)上設有限位膠固定塊(11)。
6.根據權利要求2所述的一種超大型高精密面板測量儀器,其特征在于:所述Z軸傳動架(8)上設有水平鏡頭(12),所述水平鏡頭(12)用于觀測兩側截面。
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