[實(shí)用新型]一種基板脫膜監(jiān)控裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201721819190.5 | 申請(qǐng)日： | 2017-12-20 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN207719156U | 公開（公告）日： | 2018-08-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉剛;張毅先;任思雨;蘇君海;李建華 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 信利（惠州）智能顯示有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/67 | 分類號(hào)： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202 | 代理人： | 彭俊垣 |
| 地址： | 516029 廣東*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 本實(shí)用新型 監(jiān)控裝置 脫膜機(jī) 傳送裝置 攝像設(shè)備 脫膜效果 基板 脫膜 薄膜晶體管制造 設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域 方案解決 基板傳送 監(jiān)控基板 監(jiān)控軟件 監(jiān)控效果 信號(hào)連接 滯后性 懸置 穿過(guò) 拍攝 | ||
1.一種基板脫膜監(jiān)控裝置，其特征在于：包括脫膜機(jī)和將基板傳送穿過(guò)脫膜機(jī)的傳送裝置；在所述脫膜機(jī)的出口處固定懸置有拍攝方向正對(duì)于所述傳送裝置的攝像設(shè)備；所述攝像設(shè)備與預(yù)裝有監(jiān)控軟件的PC端信號(hào)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板脫膜監(jiān)控裝置，其特征在于：所述攝像設(shè)備包括多個(gè)沿所述傳送裝置的寬度方向并排設(shè)置的相機(jī)；所述相機(jī)的拍攝范圍覆蓋所述傳送裝置上沿其寬度方向的范圍。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基板脫膜監(jiān)控裝置，其特征在于：每個(gè)所述相機(jī)均對(duì)應(yīng)所述傳送裝置上的一塊基板。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種基板脫膜監(jiān)控裝置，其特征在于：所述相機(jī)的拍攝間隔時(shí)間等于沿所述傳送裝置的傳送方向上兩個(gè)相鄰的基板之間的距離與所述傳送裝置的傳送速度之間的商。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種基板脫膜監(jiān)控裝置，其特征在于：還包括用于感應(yīng)所述傳送裝置的基板的感應(yīng)器。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種基板脫膜監(jiān)控裝置，其特征在于：所述PC端與所述傳送裝置的驅(qū)動(dòng)部件電性連接。
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
