[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體器件的多功能腐蝕裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721816880.5
• 申請(qǐng)日: 2017-12-22
• 公開（公告）號(hào): CN207993809U
• 公開（公告）日: 2018-10-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 袁鵬;古進(jìn);郭榮;簡青青;壽強(qiáng)亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國振華集團(tuán)永光電子有限公司（國營第八三七廠）
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 貴陽睿騰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 52114
• 代理人: 谷慶紅

1.一種半導(dǎo)體器件的多功能腐蝕裝置，包括提手(1)、籃架(2)、酸洗盤(3)、支架(4)，其特征在于：所述支架(4)安裝在支架(4)內(nèi)，所述支架(4)安裝在籃架(2)內(nèi)，所述提手(1)安裝在籃架(2)的上端，所述酸洗盤(3)在支架(4)內(nèi)上下水平布置有若干排。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件的多功能腐蝕裝置，其特征在于：所述酸洗盤(3)包括襯板(31)、面板(32)，所述面板(32)通過支柱(34)支撐安裝在襯板(31)上，所述襯板(31)的下端通過螺栓固接有襯腳(33)。

3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體器件的多功能腐蝕裝置，其特征在于：所述襯板(31)的端面上均加工有通孔(5)和襯腳連接孔(312),所述通孔(5)內(nèi)安裝有支柱(34)，所述襯腳連接孔(312)通過螺栓將襯腳(33)固接在襯板(31)下端，襯板(31)的中部加工有若干均勻布置的襯孔(311),襯孔(311)的上端設(shè)置有倒圓臺(tái)槽(6)。

4.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體器件的多功能腐蝕裝置，其特征在于：所述面板(32)的兩端端面上加工有通孔(5)，通孔(5)與支柱(34)連接，所述面板(32)的中部設(shè)置有酸液槽(322),酸液槽(322)內(nèi)加工有若干限位孔(321),限位孔(321)上端設(shè)置有倒圓臺(tái)槽(6)。

5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件的多功能腐蝕裝置，其特征在于：所述支架(4)包括限位柱(41)、頂板(42)、抵板(43)、中間限位柱(44)、側(cè)面支撐柱(45)、底板(47)，所述頂板(42)和底板(47)分別通過鎖緊件(46)安裝在限位柱(41)兩端，所述側(cè)面支撐柱(45)和中間限位柱(44)通過鎖緊件(46)安裝在頂板(42) 和底板(47)之間且在頂板(42)或底板(47)的一側(cè)，所述側(cè)面支撐柱(45)在頂板(42)的兩端，中間限位柱(44)在頂板(42)的中部。

6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件的多功能腐蝕裝置，其特征在于：所述籃架(2)包括側(cè)板(21)和拉緊螺桿(22)，所述側(cè)板(21)平行設(shè)置有兩塊，兩塊側(cè)板(21)之間通過拉緊螺桿(22)連接，所述拉緊螺桿(22)設(shè)置在側(cè)板(21)的左右兩側(cè)及其下端。

7.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件的多功能腐蝕裝置，其特征在于：所述提手(1)包括左提桿(11)、右提桿(12)、提板(13)，所述提板(13)設(shè)置為四塊，四塊提板(13)的一端分別與兩塊側(cè)板(21)的上端兩側(cè)部鉸接，所述兩塊側(cè)板(21)上相對(duì)一側(cè)的提板(13)中下部之間通過拉緊螺桿(22)連接，其上端分別通過左提桿(11)和右提桿(12)連接。

8.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體器件的多功能腐蝕裝置，其特征在于：所述襯腳(33)一側(cè)面上加工了導(dǎo)向槽(332),導(dǎo)向槽(332)安裝在抵板(43)的一端，所述襯腳(33)上還豎直加工有若干螺栓孔(331)，通過螺栓孔(331)與螺栓將襯腳(33)固定在襯板(31)下端。

9.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體器件的多功能腐蝕裝置，其特征在于：所述限位柱(41)兩端設(shè)置有螺紋，限位柱(41)中部等間距交叉布置有若干上限位臺(tái)(411)和下限位臺(tái)(412)，每對(duì)上限位臺(tái)(411)和下限位臺(tái)(412)的相對(duì)面邊角均加工有倒角(4111)，所述上限位臺(tái)(411)的下端面與面板(32)的上端面接合，所述下限位臺(tái)(412)的上端面與襯腳(33)的下端面接合。

10.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體器件的多功能腐蝕裝置，其特征在于：所述左提桿(11)和右提桿(12)兩端均設(shè)置有螺紋，左提桿(11)和右提桿(12)相鄰面上分別加工有卡槽(111)和凸臺(tái)(121),凸臺(tái)(121)可以卡裝在卡槽(111)內(nèi)。