[實用新型]硅基微氣相色譜柱有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721816759.2 | 申請日： | 2017-12-22 |
| 公開（公告）號： | CN207623299U | 公開（公告）日： | 2018-07-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 馮飛;羅凡;李昕欣 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 |
| 主分類號： | G01N30/60 | 分類號： | G01N30/60 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 羅泳文 |
| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 色譜柱 硅納米線 硅基 微氣 本實用新型 分離度 納米線 內(nèi)表面 微溝道 有效地 柱容量 森林 線徑 制備 柱效 | ||
1.一種硅基微氣相色譜柱，其特征在于，包括：
硅襯底；
微溝道，形成于所述硅襯底中；
微流控端口，形成于所述微溝道兩端；
硅納米線森林，制備于所述微溝道內(nèi)；以及
封裝蓋板，鍵合于所述硅襯底表面，以封閉所述微溝道，形成硅基微氣相色譜柱的微通道。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基微氣相色譜柱，其特征在于：所述微溝道內(nèi)還具有多個溝道單元及多個微柱陣列所組成群組中的一種或兩種，所述硅納米線森林制備于所述多個溝道單元及所述多個微柱陣列表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基微氣相色譜柱，其特征在于：還包括：基于所需分離的組分形成于所述硅納米線森林表面的相應(yīng)的修飾材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基微氣相色譜柱，其特征在于：所述封裝蓋板包含雙面拋光的玻璃蓋板，通過陽極鍵合方法鍵合于所述硅襯底的鍵合面上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基微氣相色譜柱，其特征在于：所述封裝蓋板包含硅蓋板，所述硅蓋板于與所述微溝道對應(yīng)的區(qū)域制備有硅納米線森林，通過硅-硅鍵合工藝將所述硅蓋板與所述硅襯底進行鍵合。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5任意一項所述的硅基微氣相色譜柱，其特征在于：所述硅納米線森林中的硅納米線的線徑介于1～100納米之間。
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