[實用新型]彈性體應變薄膜電阻

有效

• 申請號: 201721807602.3
• 申請日: 2017-12-22
• 公開（公告）號: CN207649802U
• 公開（公告）日: 2018-07-24
• 發明（設計）人: 雷衛武;曾朋輝
• 申請（專利權）人: 北京中航興盛測控技術有限公司
• 主分類號: G01L1/22
• 分類號: G01L1/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種彈性體應變薄膜電阻，其特征在于：包括位于中心位置鏡像分布的二個內電阻柵(2)，位于縱軸方向邊緣位置鏡像分布的二個外電阻柵(3)，位于橫軸方向邊緣位置鏡像分布的二個補償電阻柵(5)，位于邊緣位置鏡像分布的四個柵條焊盤(4-1)、柵條焊盤(4-2)、柵條焊盤(4-3)、柵條焊盤(4-4)以及四個補償焊盤(4-5)、補償焊盤(4-6)、補償焊盤(4-7)、補償焊盤(4-8)組成。

2.如權利要求1所述的彈性體應變薄膜電阻，其特征在于：所述二個內電阻柵(2)，二個外電阻柵(3)，二個補償電阻柵(5)，四個柵條焊盤(4-1)、柵條焊盤(4-2)、柵條焊盤(4-3)、柵條焊盤(4-4)以及四個補償焊盤(4-5)、補償焊盤(4-6)、補償焊盤(4-7)、補償焊盤(4-8)采用離子束薄膜濺射技術和精密光刻技術制造而成，位于鋼杯(6)的平膜片(1)的表面。

3.如權利要求2所述的彈性體應變薄膜電阻，其特征在于：所述二個內電阻柵(2)、二個外電阻柵(3)組成惠斯通電橋，當壓力作用在所述平膜片(1)時，位于平膜片(1)的所述惠斯通電橋失出平衡，輸出與所受壓力成比例的電信號。

4.如權利要求1或2所述的彈性體應變薄膜電阻，其特征在于：所述二個內電阻柵(2)、二個外電阻柵(3)組成惠斯通電橋時，選擇所述二個補償電阻柵(5)串入在惠斯通電橋中，使所述惠斯通電橋的零點輸出接近零。