[實用新型]彈性體應(yīng)變薄膜電阻

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721807602.3
• 申請日: 2017-12-22
• 公開（公告）號: CN207649802U
• 公開（公告）日: 2018-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 雷衛(wèi)武;曾朋輝
• 申請（專利權(quán)）人: 北京中航興盛測控技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01L1/22
• 分類號: G01L1/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種彈性體應(yīng)變薄膜電阻，包括位于中心位置鏡像分布的二個內(nèi)電阻柵、位于縱軸方向邊緣位置鏡像分布的二個外電阻柵、位于橫軸方向邊緣位置鏡像分布的二個補償電阻柵、位于邊緣位置鏡像分布的四個柵條焊盤以及四個補償焊盤組成。上述電阻柵和焊盤均采用離子束薄膜濺射技術(shù)和精密光刻技術(shù)制造而成，位于鋼杯的平膜片的表面。二個內(nèi)電阻柵、二個外電阻柵四個電阻可以組成惠斯通電橋，當電橋在零點輸出不為零時，選擇所述二個補償電阻柵的適當阻值，串入在惠斯通電橋的橋臂中，使惠斯通電橋的零點輸出盡量小。這樣傳感器配阻容易，濺射薄膜傳感器優(yōu)良性能得到保障。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種彈性體應(yīng)變薄膜電阻，尤其涉及一種彈性體鋼杯平膜片應(yīng)變薄膜電阻的技術(shù)改進。

背景技術(shù)

濺射薄膜壓力傳感器是一種性能優(yōu)良的壓力傳感器，它具有精度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點，在許多領(lǐng)域得到應(yīng)用。但濺射薄膜壓力傳感器大都采用彈性體鋼杯制造，在鋼杯的平膜片上布置四個應(yīng)變電阻柵，形成惠斯通電橋，這種方式制造電橋，其橋臂四個電阻離散性較大，傳感器配阻困難，傳感器零點輸出大，傳感器優(yōu)良性能得不到保障。

因此，開發(fā)一種配阻方便、傳感器零點輸出盡量小的彈性體應(yīng)變薄膜電阻極其重要。

在不影響彈性體任何性能的前提下，增加二個補償電阻柵，選用適當?shù)难a償電阻串入電橋中，可使惠斯通電橋零點輸出盡量小，并提高生產(chǎn)效率，解決上述存在的問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種帶補償電阻柵，方便配阻，針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，實現(xiàn)壓力傳感器彈性體薄膜電阻零點輸出盡量小的目的。

為解決以上技術(shù)問題，本實用新型的技術(shù)方案是：包括位于中心位置鏡像分布的二個內(nèi)電阻柵、位于縱軸方向邊緣位置鏡像分布的二個外電阻柵、位于橫軸方向邊緣位置鏡像分布的二個補償電阻柵、位于邊緣位置鏡像分布的四個柵條焊盤以及四個補償焊盤組成。

所述二個內(nèi)電阻柵、二個外電阻柵、二個補償電阻柵、四個柵條焊盤以及四個補償焊盤采用離子束薄膜濺射技術(shù)和精密光刻技術(shù)制造而成，位于鋼杯的平膜片的表面。

所述二個內(nèi)電阻柵、二個外電阻柵組成惠斯通電橋，當壓力作用在所述平膜片時，位于平膜片的所述惠斯通電橋失出平衡，輸出與所受壓力成比例的電信號。

所述二個內(nèi)電阻柵、二個外電阻柵組成惠斯通電橋時，選擇所述二個補償電阻柵串入在惠斯通電橋中，使所述惠斯通電橋的零點輸出盡量小。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型所具有的有益效果為：在不影響彈性體任何性能的前提下，增加二個容易配阻的補償電阻柵。在組橋時，選用適當?shù)难a償電阻串入電橋中，可使惠斯通電橋零點輸出盡量小，并提高生產(chǎn)效率，保證濺射薄膜壓力傳感器的優(yōu)良性能。

附圖說明

圖1為本實用新型的薄膜電阻柵布置示意圖。

圖2為本實用新型的彈性體鋼杯的剖面示意圖。

圖中：1、平膜片；2、內(nèi)電阻柵；3、外電阻柵；4-1、柵條焊盤1；

4-2、柵條焊盤2；4-3、柵條焊盤3；4-4、柵條焊盤4；

4-5、補償焊盤1；4-6、補償焊盤2；4-7、補償焊盤3；

4-8、補償焊盤4；5、補償電阻柵；6、鋼杯。

具體實施方式