[實用新型]防水罩和晶圓處理裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721804707.3 | 申請日： | 2017-12-21 |
| 公開（公告）號： | CN207672153U | 公開（公告）日： | 2018-07-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 孫飛;胡平;楊福全 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海新傲科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C30B25/08 | 分類號： | C30B25/08;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海盈盛知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孫佳胤 |
| 地址： | 201821 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 防水罩 窺視孔 晶圓 處理腔室 橫向水擋 豎直 水擋 傾斜部 漏空 紅外測溫儀 紅外光 晶圓處理裝置 處理效率 處置裝置 光路位置 透明結(jié)構(gòu) 處理腔 水平部 水滴 光路 種晶 遮蓋 垂直 室內(nèi) 發(fā)射 | ||
1.一種防水罩，用于放置于晶圓處理腔室上方，所述晶圓處理腔室頂部具有一窺視孔，所述晶圓處理腔室上方具有一紅外測溫儀，所述紅外測溫儀用于向所述晶圓處理腔室內(nèi)發(fā)射紅外光，形成一垂直于所述窺視孔的光路，其特征在于，所述防水罩包括：
豎直水擋，所述豎直水擋中部漏空，用于放置于所述窺視孔的四周，使所述窺視孔位于所述豎直水擋的漏空處底部；
橫向水擋，所述橫向水擋包括傾斜部和水平部，所述橫向水擋固定于所述豎直水擋漏空處頂部，當(dāng)所述防水罩放置于所述晶圓處理腔室上方時，所述橫向水擋遮蓋所述窺視孔，所述傾斜部與所述光路位置相對應(yīng)，所述傾斜部為透明結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防水罩，其特征在于，所述橫向水擋的材料為石英。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防水罩，其特征在于，所述橫向水擋包括：一個傾斜部和兩個水平部，所述傾斜部銜接兩個水平部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防水罩，其特征在于，所述傾斜部與所述水平部的夾角為120度至150度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防水罩，其特征在于，所述防水罩為一體成型結(jié)構(gòu)或者所述豎直水擋與橫向水擋為分體結(jié)構(gòu)且相互之間固定連接。
6.一種晶圓處理裝置，其特征在于，包括：
晶圓處理腔室，所述晶圓處理腔室頂部具有一窺視孔；
紅外測溫儀，用于向所述晶圓處理腔室內(nèi)發(fā)射紅外光，形成一垂直于所述窺視孔的光路；
防水罩，所述防水罩包括豎直水擋和橫向水擋，放置于所述晶圓處理腔室上方，所述豎直水擋位于所述窺視孔四周邊緣，所述豎直水擋中部漏空，所述窺視孔位于所述豎直水擋的漏空處底部，所述橫向水擋固定于所述豎直水擋漏空處頂部，所述橫向水擋遮蓋所述窺視孔；
所述橫向水擋包括傾斜部和水平部，所述傾斜部與所述光路位置相對應(yīng)，所述傾斜部為透明結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓處理裝置，其特征在于，還包括：基座，位于所述窺視孔下方，用于放置晶圓。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓處理裝置，其特征在于，所述橫向水擋的材料為石英。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓處理裝置，其特征在于，所述橫向水擋包括：一個傾斜部和兩個水平部，所述傾斜部銜接兩個水平部。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓處理裝置，其特征在于，所述傾斜部與所述水平部的夾角為120度至150度。
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