[實用新型]一種UV解膠機有效
| 申請號: | 201721797953.0 | 申請日: | 2017-12-20 |
| 公開(公告)號: | CN207818531U | 公開(公告)日: | 2018-09-04 |
| 發明(設計)人: | 柳直;郭勇;郭慶忠 | 申請(專利權)人: | 蘇州光寶科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司: | 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260 | 代理人: | 張歡勇 |
| 地址: | 215000 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 解膠 傳送帶 氣盒 氣軸 電動推桿 冷卻組件 固定管 軸孔 本實用新型 活塞桿連接 弧形推板 環形結構 所在平面 相對設置 氣閥 活動套 夾角為 晶圓 銳角 通孔 流水線 連通 氣管 穿過 貫穿 出口 | ||
1.一種UV解膠機,包括機架、第一傳送帶(1)、解膠箱(2)和UV光源,其特征在于,所述第一傳送帶(1)為首尾相接的環形結構且固定在機架上,所述解膠箱(2)設有供第一傳送帶(1)穿過的出口和入口,所述UV光源與第一傳送帶(1)相對設置且連接在解膠箱(2)底部,所述解膠箱(2)設有冷卻組件,所述冷卻組件包括順次連通的氣管(3)、氣閥(4)、固定管(5)、氣軸(6)和氣盒(7),所述氣盒(7)中間設有貫穿兩側的軸孔,所述氣軸(6)活動套設在軸孔內,所述固定管(5)和氣閥(4)分別固定在解膠箱(2)的內外兩側,所述氣軸(6)和氣盒(7)上均設有多個氣孔,所述氣盒(7)上的氣孔朝向相同且與氣盒(7)所在平面的夾角為銳角,所述第一傳送帶(1)上均勻設有多個通孔(8),所述機架上設有相對設置在第一傳送帶(1)內外兩側的電動推桿(9)和第二傳送帶(10),所述電動推桿(9)的活塞桿連接有弧形推板(11)。
2.根據權利要求1所述的UV解膠機,其特征在于所述UV光源設置在第一傳送帶(1)底部。
3.根據權利要求1所述的UV解膠機,其特征在于所述出口和入口均設有由多個膠條組成的門簾。
4.根據權利要求1所述的UV解膠機,其特征在于所述冷卻組件設置在UV光源與第一傳送帶(1)之間。
5.根據權利要求1所述的UV解膠機,其特征在于所述氣盒(7)為圓形、矩形或六角形形狀。
6.根據權利要求1所述的UV解膠機,其特征在于所述第二傳送帶(10)上設有弧形軌片。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





