[實用新型]一種晶圓連續(xù)清洗裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721796766.0
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN207651456U
• 公開（公告）日: 2018-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃雷
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山成功環(huán)保科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677;B08B3/02;B08B3/10;B08B3/14;B08B1/02
• 代理公司: 蘇州華博知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32232
• 代理人: 黃珩

1.一種晶圓連續(xù)清洗裝置，其特征在于，包括：

設(shè)有清洗裝置的清洗室；

所述清洗裝置包括清洗噴頭，所述清洗噴頭設(shè)置在清洗室的頂部和底部，所述清洗噴頭與供液裝置通過管路相連；

晶圓連續(xù)傳送機構(gòu)，其穿越所述清洗室并循環(huán)運動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的晶圓連續(xù)清洗裝置，其特征在于，所述晶圓連續(xù)傳送機構(gòu)包括機架，以及設(shè)置在所述機架上同步轉(zhuǎn)動的傳送托輥。

3.根據(jù)權(quán)利要求2中所述的晶圓連續(xù)清洗裝置，其特征在于，所述各傳送托輥的軸端部設(shè)置有齒輪，各齒輪通過鏈條驅(qū)動。

4.根據(jù)權(quán)利要求2中所述的晶圓連續(xù)清洗裝置，其特征在于，所述清洗裝置還包括有擦拭裝置，所述擦拭裝置包括上擦拭托輥和下擦拭托輥，所述下擦拭托輥稍低于所述傳送托輥，上擦拭托輥對應(yīng)的布置在所述下擦拭托輥的正上方，兩者形成的間隙稍小于晶圓厚度，所述擦拭托輥上包裹有彈性透水性材料。

5.根據(jù)權(quán)利要求4中所述的晶圓連續(xù)清洗裝置，其特征在于，所述彈性透水性材料為海綿。

6.根據(jù)權(quán)利要求4中所述的晶圓連續(xù)清洗裝置，其特征在于，所述擦拭裝置包括有多組所述上擦拭托輥和所述下擦拭托輥。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項所述的晶圓連續(xù)清洗裝置，其特征在于，所述供液裝置的管路上設(shè)置有加熱裝置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的晶圓連續(xù)清洗裝置，其特征在于，所述晶圓連續(xù)清洗裝置還包括廢液收集裝置及廢液處理裝置。

9.根據(jù)權(quán)利要求8中所述的晶圓連續(xù)清洗裝置，其特征在于，所述供液裝置與所述廢液處理裝置相連。