[實用新型]一種質(zhì)量流量控制器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721794204.2 | 申請日： | 2017-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN207764658U | 公開（公告）日： | 2018-08-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 趙青松;南建輝 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京創(chuàng)昱科技有限公司 |
| 主分類號： | G05D7/06 | 分類號： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002 | 代理人： | 王瑩;吳歡燕 |
| 地址： | 102209 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 出氣管路 進氣管路 控制組件 質(zhì)量流量控制器 本實用新型 電位監(jiān)測 氣體流量 多路 混氣 供氣 進氣口 半導體技術(shù)領(lǐng)域 配氣管路 元件連接 進氣管 氣箱體 減小 連通 搭配 節(jié)約 | ||
1.一種質(zhì)量流量控制器，其特征在于：包括進氣管路、出氣管路和控制組件，所述進氣管路和/或所述出氣管路為多條，所述進氣管路一端為進氣口，另一端與各所述出氣管路連通，各所述進氣管路上均設(shè)有電位監(jiān)測元件，所述控制組件與所述電位監(jiān)測元件連接，且所述控制組件控制所述進氣管路和所述出氣管路的氣體流量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器，其特征在于：當所述出氣管路為多條時，各所述出氣管路上均設(shè)有第一控制閥，所述第一控制閥與所述控制組件連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的質(zhì)量流量控制器，其特征在于：當所述進氣管路為多條時，各所述進氣管路上均設(shè)有第二控制閥，所述第二控制閥與所述控制組件連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器，其特征在于：所述電位監(jiān)測元件包括氣流旁路和熱感應電位差元件，所述氣流旁路的兩端均與所述進氣管路連通，所述熱感應電位差元件設(shè)置于所述氣流旁路上，且與所述控制組件連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的質(zhì)量流量控制器，其特征在于：所述熱感應電位差元件包括電位儀、加熱器和兩個熱電偶，所述加熱器與所述熱電偶均設(shè)置于所述氣流旁路上，且所述加熱器位于兩個所述熱電偶之間，所述電位儀分別于兩個所述熱電偶連接，以測量兩個所述熱電偶之間的電位差，且所述電位儀與所述控制組件連接，以將所述電位差輸出至所述控制組件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器，其特征在于：多條所述進氣管路包括主管路和副管路，所述主管路與所述副管路在末端匯集，并與所述出氣管路連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的質(zhì)量流量控制器，其特征在于：多條所述進氣管路的末端匯集處的管路結(jié)構(gòu)為文丘里管。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的質(zhì)量流量控制器，其特征在于：所述控制組件包括計算控制單元和數(shù)據(jù)交換模塊，所述控制組件包括計算控制單元和數(shù)據(jù)交換模塊，所述計算控制單元與所述數(shù)據(jù)交換模塊連接，所述電位監(jiān)測元件、所述第一控制閥和所述第二控制閥均與所述計算控制單元連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的質(zhì)量流量控制器，其特征在于：所述第一控制閥為壓電陶瓷閥。
10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的質(zhì)量流量控制器，其特征在于：所述第二控制閥為壓電陶瓷閥。
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