[實(shí)用新型]一種芯片掃描電鏡樣品臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721789853.3
• 申請(qǐng)日: 2017-12-20
• 公開（公告）號(hào): CN207868156U
• 公開（公告）日: 2018-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 湯劍波;張偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 海太半導(dǎo)體（無(wú)錫）有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/20
• 分類號(hào): H01J37/20
• 代理公司: 無(wú)錫市朗高知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32262
• 代理人: 趙華

本實(shí)用新型提供一種芯片掃描電鏡樣品臺(tái)，包括安裝座和基板，安裝座底部通過(guò)調(diào)節(jié)螺栓活動(dòng)安裝在基板上，基板的四周分別設(shè)置有倒裝的沉頭螺栓，安裝座上設(shè)置有多個(gè)平行的通槽，安裝座與通槽平行的兩側(cè)設(shè)置有貫穿的固定通孔，通槽的一側(cè)面上設(shè)置有擋板。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以同時(shí)嵌入多個(gè)樣品，同時(shí)進(jìn)行涂層和觀察，可有效節(jié)約時(shí)間和消耗品成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型主要涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種芯片掃描電鏡樣品臺(tái)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的SEM樣品臺(tái)(掃描電鏡樣品臺(tái))，對(duì)于需要豎著觀察的樣品，由于樣品臺(tái)很小，每次只能放入一個(gè)樣品，需要進(jìn)行樣品對(duì)比時(shí)，或者需要同時(shí)分析多個(gè)樣品時(shí)，需要不停地開關(guān)樣品倉(cāng)換樣品，非常浪費(fèi)時(shí)間。

已公開中國(guó)發(fā)明專利，申請(qǐng)?zhí)朇N201620194696.0，專利名稱：一種冷場(chǎng)掃描電鏡用多功能樣品臺(tái)，申請(qǐng)日：20160314，其公開了一種冷場(chǎng)掃描電鏡用多功能樣品臺(tái)，屬于冷場(chǎng)發(fā)射電鏡用樣品臺(tái)領(lǐng)域。該樣品臺(tái)包括主體、樣品槽、長(zhǎng)螺釘、黃銅墊片、固定頭，其中其中樣品通過(guò)長(zhǎng)螺釘?shù)男D(zhuǎn)固定在樣品槽內(nèi)；樣品槽內(nèi)能鋪設(shè)黃銅墊片。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了樣品臺(tái)同時(shí)承載較多數(shù)量的樣品，同時(shí)對(duì)同批次樣品的形狀，尺寸，形狀無(wú)統(tǒng)一要求，一次可以放置多個(gè)尺寸，形狀均不相同的樣品，從而提高了實(shí)驗(yàn)效率，簡(jiǎn)化了制樣過(guò)程。同時(shí)亦可用于普通掃描電鏡，適用廣泛。本樣品臺(tái)既可用于觀察非磁性材料，也可以用來(lái)觀察磁性材料，操作簡(jiǎn)單方便，安全可靠，有效拓寬了冷場(chǎng)掃描電鏡的應(yīng)用范圍。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本實(shí)用新型提供一種芯片掃描電鏡樣品臺(tái)，本實(shí)用新型通過(guò)下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：包括安裝座1和基板2，所述安裝座1底部通過(guò)調(diào)節(jié)螺栓3活動(dòng)安裝在基板2上，所述基板2的四周分別設(shè)置有倒裝的沉頭螺栓4，所述安裝座1上設(shè)置有多個(gè)平行的通槽5，所述安裝座1與通槽5平行的兩側(cè)設(shè)置有貫穿的固定通孔6，所述通槽5的一側(cè)面上設(shè)置有擋板7。

優(yōu)選的，所述基板2底部設(shè)置有定位凹槽8。

優(yōu)選的，所述固定通孔6設(shè)置有四個(gè)。

優(yōu)選的，所述每個(gè)通槽5內(nèi)設(shè)置有一個(gè)擋板7，所述擋板7設(shè)置在位于中間的兩個(gè)固定通孔6之間。

優(yōu)選的，所述基板2的兩側(cè)設(shè)置有拉手9。

優(yōu)選的，所述拉手9呈半圓環(huán)形。

優(yōu)選的，所述安裝座1的表面設(shè)置有號(hào)位10，每個(gè)通槽5的兩側(cè)平面上分別設(shè)置有兩個(gè)號(hào)位10，兩側(cè)的號(hào)位10參差設(shè)置，號(hào)位10設(shè)置在固定通孔6正上方。

本實(shí)用新型的有益效果：可以同時(shí)嵌入多個(gè)樣品，同時(shí)進(jìn)行涂層和觀察，可有效節(jié)約時(shí)間和消耗品成本。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)圖；

圖2為本實(shí)用新型的俯視圖；

圖3為圖2中關(guān)于A-A面的剖視圖；

圖4為圖2中關(guān)于B-B面的剖視圖；

圖中，

1、安裝座；2、基板；3、調(diào)節(jié)螺栓；4、沉頭螺栓；5、通槽；6、固定通孔；7、擋板；8、凹槽；9、拉手；10、號(hào)位。

具體實(shí)施方式

如圖1-4所示可知，本實(shí)用新型包括有：安裝座1和基板2，所述安裝座1底部通過(guò)調(diào)節(jié)螺栓3活動(dòng)安裝在基板2上，所述基板2的四周分別設(shè)置有倒裝的沉頭螺栓4，所述安裝座1上設(shè)置有多個(gè)平行的通槽5，所述安裝座1與通槽5平行的兩側(cè)設(shè)置有貫穿的固定通孔6，所述通槽5的一側(cè)面上設(shè)置有擋板7。

使用中，將待掃描檢測(cè)的產(chǎn)品插設(shè)在通槽5中，并通過(guò)固定通孔6穿入固定桿固定，然后將產(chǎn)品放入檢測(cè)平臺(tái)中，通過(guò)調(diào)整調(diào)節(jié)螺栓3調(diào)整基板2的水平度，為檢測(cè)產(chǎn)品提供水平保證。