[實用新型]一種芯片掃描電鏡樣品臺

有效

• 申請號: 201721789853.3
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN207868156U
• 公開（公告）日: 2018-09-14
• 發明（設計）人: 湯劍波;張偉
• 申請（專利權）人: 海太半導體（無錫）有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 無錫市朗高知識產權代理有限公司 32262
• 代理人: 趙華

1.一種芯片掃描電鏡樣品臺，其特征在于，包括安裝座(1)和基板(2)，所述安裝座(1)底部通過調節螺栓(3)活動安裝在基板(2)上，所述基板(2)的四周分別設置有倒裝的沉頭螺栓(4)，所述安裝座(1)上設置有多個平行的通槽(5)，所述安裝座(1)與通槽(5)平行的兩側設置有貫穿的固定通孔(6)，所述通槽(5)的一側面上設置有擋板(7)。

2.根據權利要求1所述的一種芯片掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述基板(2)底部設置有定位凹槽(8)。

3.根據權利要求1所述的一種芯片掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述固定通孔(6)設置有四個。

4.根據權利要求3所述的一種芯片掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述每個通槽(5)內設置有一個擋板(7)，所述擋板(7)設置在位于中間的兩個固定通孔(6)之間。

5.根據權利要求1所述的一種芯片掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述基板(2)的兩側設置有拉手(9)。

6.根據權利要求5所述的一種芯片掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述拉手(9)呈半圓環形。

7.根據權利要求1所述的一種芯片掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述安裝座(1)的表面設置有號位(10)，每個通槽(5)的兩側平面上分別設置有兩個號位(10)，兩側的號位(10)參差設置，號位(10)設置在固定通孔(6)正上方。