[實用新型]一種分選機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721789788.4 | 申請日: | 2017-12-20 |
| 公開(公告)號: | CN207602529U | 公開(公告)日: | 2018-07-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 鄭權(quán);林桂綺;邱智中;蔡吉明 | 申請(專利權(quán))人: | 安徽三安光電有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L33/48 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 241000 安徽*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 粘合膜 滾輪 晶粒 分選 載盤 纏繞 本實用新型 分選擺臂 分選機 平面狀 固晶 粘附 抓取 半導(dǎo)體設(shè)備 可伸縮的 組件包括 耗材 | ||
1.一種分選機,至少包括放置待分選晶粒的載盤、水平可伸縮的固晶平臺,設(shè)置于載盤和固晶平臺之間的分選擺臂,其特征在于:還包括復(fù)數(shù)個粘附分選后晶粒的粘合膜組件,所述粘合膜組件包括一對相互間隔一定距離的第一滾輪和第二滾輪,以及纏繞于第一滾輪和第二滾輪上的粘合膜,粘合膜在第一滾輪和第二滾輪之間呈平面狀,纏繞于第一滾輪上的粘合膜未粘附晶粒,纏繞于第二滾輪上的粘合膜粘附有分選后的晶粒,分選擺臂從載盤抓取所需規(guī)格的晶粒,并轉(zhuǎn)移至粘合膜組件的平面狀粘合膜上完成分選。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分選機,其特征在于:所述粘合膜組件還包括與第一滾輪和第二滾輪兩側(cè)固定連接的支架以及位于支架下端便于支架沿滑軌移動的滑輪。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種分選機,其特征在于:所述粘合膜組件還包括位于第一滾輪和第二滾輪之間的一對傳動滾輪。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分選機,其特征在于:還包括放置粘合膜組件的復(fù)數(shù)個儲存區(qū)以及連接儲存區(qū)和固晶平臺的滑軌,粘合膜組件從儲存區(qū)移動至固晶平臺與分選擺臂相對的一側(cè)進行分選晶粒。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種分選機,其特征在于:所述儲存區(qū)位于固晶平臺的一側(cè)或者多側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種分選機,其特征在于:所述滑軌包括一條或多條,所述多條軌道包括主軌道和多條分支軌道,分支軌道位于主軌道的一側(cè)或者兩側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種分選機,其特征在于:所述粘合膜組件與儲存區(qū)的數(shù)量對應(yīng),每一儲存區(qū)具有對應(yīng)的編號。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種分選機,其特征在于:所述多個儲存區(qū)和固晶平臺處均設(shè)置有感應(yīng)粘合膜組件位置的感應(yīng)器。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分選機,其特征在于:載盤包括具有一腔體的晶粒放置臺,頂針模組置于腔體內(nèi),粘附于粘合膜上的復(fù)數(shù)個晶粒放置于晶粒放置臺上,頂針模組刺破粘合膜并將晶粒頂出粘合膜表面。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分選機,其特征在于:所述分選機還包括位于分選擺臂和固晶平臺之間的用于清潔粘合膜組件的清潔裝置。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





