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[實用新型]一種濾光片剝離機構有效

專利信息
申請號: 201721781749.X 申請日: 2017-12-19
公開(公告)號: CN207859696U 公開(公告)日: 2018-09-14
發明(設計)人: 聶漢華 申請(專利權)人: 深圳市智立方自動化設備有限公司;邱鵬
主分類號: B32B38/10 分類號: B32B38/10
代理公司: 深圳市科吉華烽知識產權事務所(普通合伙) 44248 代理人: 李利
地址: 518000 廣東省深圳市寶安*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 晶圓盤 導向機構 旋轉機構 張緊機構 晶圓 頂針 本實用新型 安裝底座 剝離機構 頂升機構 滑動連接 濾光片 張緊 視覺模塊 同一水平 機械手 膜分離 外嚙合 張緊環 齒輪 濾光 吸嘴 裝入 剝離
【說明書】:

實用新型涉及一種濾光片剝離機構,包括安裝底座、張緊機構、旋轉機構、視覺模塊、頂升機構及導向機構;在開始剝離濾光片時,將晶圓盤裝入所述張緊機構中并張緊;所述導向機構固定于所述安裝底座上,所述導向機構包括X軸導軌及Y軸導軌;所述Y軸導軌與所述X軸導軌不在同一水平面上;所述旋轉機構與所述張緊機構齒輪外嚙合連接,所述旋轉機構與所述Y軸導軌滑動連接;所述頂升機構與所述X軸導軌滑動連接。本實用新型通過設置不同長度的頂針設置于所述晶圓盤的下方,頂針頂起晶圓盤上晶圓,使晶圓與晶圓盤的膜分離,實現了機械手吸嘴吸取晶圓更加方便的目的,又通過調整張緊環來達到張緊晶圓盤上的膜,防止晶圓盤傾斜的目的。

技術領域

本實用新型涉及濾光片剝離領域,尤其涉及一種濾光片剝離機構。

背景技術

在涉及高精密貼裝行業,大部分中國市場被歐美企業、日韓企業及其他外資企業占領。在攝像頭濾光片貼裝行業,針對如何把濾光片從離心紙上玻璃是一道關鍵工序。剝離原理上大至相同,但結構設計,及軟件邏輯上又各有千秋,整個行業出現百花齊放的現象。但是現有技術中的攝像頭濾光片貼裝存在的一個問題是,因濾光片與物料盤之間是真空貼合,濾光片與物料盤之間的有一個大氣壓力,在通過物料盤上的吸嘴將濾光片從物料盤上剝離的時候,吸取極為困難,

實用新型內容

針對現有技術中存在的缺陷或不足,本實用新型所要解決的技術問題是:提供一種能夠解決現有技術中濾光片剝離不凈、剝離困難的技術問題的濾光片剝離機構。

為了實現上述目的,本實用新型采取的技術方案為提供一種濾光片剝離機構,包括安裝底座、張緊機構、旋轉機構、視覺模塊、頂升機構及導向機構;在開始剝離濾光片時,將晶圓盤裝入所述張緊機構中并張緊;

所述導向機構固定于所述安裝底座上,所述導向機構包括X軸導軌及Y軸導軌;所述Y軸導軌與所述X軸導軌不在同一水平面上;

所述旋轉機構與所述張緊機構齒輪外嚙合連接,所述旋轉機構與所述Y軸導軌滑動連接;

所述頂升機構與所述X軸導軌滑動連接;

所述視覺模塊設置于所述張緊機構的上部,所述視覺模塊:用于定位晶圓盤中晶圓;

所述頂升機構包括頂升座、固定于所述頂升座上的頂升套筒、一晶圓盤吸嘴、第一頂針、第二頂針及第三頂針;

所述第一頂針、所述第二頂針及所述第三頂針皆設有一固定端及一頂起端,所述第一頂針的固定端、所述第二頂針的固定端及所述第三頂針的固定端皆固定于所述頂針座上;

所述晶圓盤吸嘴設置于所述頂升套筒的一端,且所述晶圓盤吸嘴中間設有一頂升孔,所述第一頂針的頂起端、所述第二頂針的頂起端及所述第二頂針的頂起端能夠自所述頂升孔中伸出并高于所述頂升孔的上平面;

所述第一頂針的高度、所述第二頂針的高度及所述第三頂針的高度有高度差。

作為本實用新型的進一步改進,所述高度差為0.1-0.3mm。。

作為本實用新型的進一步改進,所述高度差為0.2mm。。

作為本實用新型的進一步改進,所述張緊機構包括蓋板、套環、張緊環轉盤及旋轉盤安裝板;所述蓋板為弧形,所述蓋板與所述套環卡接固定,所述蓋板與所述套環之間嵌有晶圓盤;

所述套環的內徑大于所述張緊環的內徑,所述張緊環套接于所述套環與所述轉盤之間;

所述張緊環:用于升降晶圓盤的高度;

所述轉盤邊緣上設有一垂直于所述轉盤上表面的齒輪條,所述驅動機構與所述齒輪條外嚙合。

作為本實用新型的進一步改進,所述張緊環通過3個絲桿螺母與轉盤連接,3個所述的絲桿螺母通過同卡帶連接一同步輪,所述同步輪與一驅動電機相連。

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