[實用新型]一種濾光片剝離機構

有效

• 申請號: 201721781749.X
• 申請日: 2017-12-19
• 公開（公告）號: CN207859696U
• 公開（公告）日: 2018-09-14
• 發明（設計）人: 聶漢華
• 申請（專利權）人: 深圳市智立方自動化設備有限公司;邱鵬
• 主分類號: B32B38/10
• 分類號: B32B38/10
• 代理公司: 深圳市科吉華烽知識產權事務所(普通合伙) 44248
• 代理人: 李利

1.一種濾光片剝離機構，其特征在于，包括安裝底座、張緊機構、旋轉機構、視覺模塊、頂升機構及導向機構；在開始剝離濾光片時，將晶圓盤裝入所述張緊機構中并張緊；

所述導向機構固定于所述安裝底座上，所述導向機構包括X軸導軌及Y軸導軌；所述Y軸導軌與所述X軸導軌不在同一水平面上；

所述旋轉機構與所述張緊機構外嚙合連接，所述旋轉機構與所述Y軸導軌滑動連接；

所述頂升機構與所述X軸導軌滑動連接；

所述視覺模塊設置于所述張緊機構的上部，所述視覺模塊：用于定位晶圓盤中晶圓；

所述頂升機構包括頂升座、固定于所述頂升座上的頂升套筒、一晶圓盤吸嘴、第一頂針、第二頂針、第三頂針和頂針座；

所述第一頂針、所述第二頂針及所述第三頂針皆設有一固定端及一頂起端，所述第一頂針的固定端、所述第二頂針的固定端及所述第三頂針的固定端皆固定于所述頂針座上；

所述晶圓盤吸嘴設置于所述頂升套筒的一端，且所述晶圓盤吸嘴中間設有一頂升孔，所述第一頂針的頂起端、所述第二頂針的頂起端及所述第二頂針的頂起端能夠自所述頂升孔中伸出并高于所述頂升孔的上平面；

所述第一頂針的高度、所述第二頂針的高度及所述第三頂針的高度有高度差。

2.根據權利要求1所述的濾光片剝離機構，其特征在于，所述高度差為0.1-0.3mm。

3.根據權利要求2所述的濾光片剝離機構，其特征在于，所述高度差為0.2mm。

4.根據權利要求1所述的濾光片剝離機構，其特征在于,所述張緊機構包括蓋板、套環、張緊環、轉盤、驅動齒輪及旋轉盤安裝板；所述蓋板為弧形，所述蓋板與所述套環卡接固定，所述蓋板與所述套環之間嵌有晶圓盤；

所述套環的內徑大于所述張緊環的內徑，所述張緊環套接于所述套環與所述轉盤之間；

所述張緊環：用于升降晶圓盤的高度；

所述轉盤邊緣上設有一垂直于所述轉盤上表面的齒輪條，所述驅動齒輪與所述齒輪條外嚙合。

5.根據權利要求4所述的濾光片剝離機構，其特征在于,所述張緊環通過3個絲桿螺母與轉盤連接，3個所述的絲桿螺母通過同卡帶連接一同步輪，所述同步輪與一驅動電機相連。

6.根據權利要求1-5任一項所述的濾光片剝離機構，其特征在于,所述旋轉機構與所述張緊機構嚙合處的外部還罩有一罩體；所述罩體固定于所述張緊機構上。

7.根據權利要求1所述的濾光片剝離機構，其特征在于,所述X軸導軌包括一X軸電機及一X軸滑動導軌，所述頂升座卡接在所述X軸滑動導軌上，所述X軸電機與所述頂升座通過一同步帶相連。