[實用新型]蒸發率檢測系統

有效

• 申請號: 201721776820.5
• 申請日: 2017-12-18
• 公開（公告）號: CN207581925U
• 公開（公告）日: 2018-07-06
• 發明（設計）人: 張建柱;蘇育家;曾海斌;于俊峰
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 趙景平;張春雨

本實用新型公開了一種蒸發率檢測系統，包括：電機、控制器、預設有蒸發鍍膜所需時間的計時器、用于模擬玻璃基板的檢測板、監測檢測板位置的第一位置傳感器、用于檢測蒸發率的分析平臺，以及多個轉軸；轉軸排列設置在工藝腔的檢測板入口至工藝腔的檢測板出口之間，第一位置傳感器設置在轉軸旁，分析平臺安裝在檢測板出口的外側；電機、計時器和第一位置傳感器分別與控制器電連接；控制器通過電機驅動轉軸旋轉，使放置在轉軸上的檢測板行進；控制器在接收到第一位置傳感器發送的就位信號后，控制電機停轉并觸發計時器計時，停止行進的檢測板位于蒸發源的上方。本實用新型不僅可以減少維護和檢測成本，并且可以提升整體效率。

技術領域

本實用新型涉及物理氣相沉積技術領域，尤其涉及一種蒸發率檢測系統。

背景技術

物理氣相沉積設備廣泛應用于薄膜的制備，其中，多元蒸發因不破壞真空、連續性生產、膜均勻性好、生產效率高易維護等優點成為大規模工業制備多組分薄膜的首選；而為了獲得高性能的薄膜，需要有準確的蒸發源蒸發率檢測系統，目前普遍使用的是石英晶體膜厚監控法。

但石英晶體膜厚監控法存在一定的缺陷，石英傳感器有一定的使用壽命，而且石英傳感器對溫度很敏感，對于工藝溫度通常幾百攝氏度左右的沉積鍍膜工藝，石英傳感器所反映的玻璃基板沉積效果不佳，特別是當石英傳感器故障后，需要打破工藝腔內的真空環境，由人工替換石英傳感器，并在更換后還需重新建立真空環境，導致維護和檢測成本增加，且效率低下。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種蒸發率檢測系統，用以解決傳統的石英晶體膜厚監控法所產生的上述問題。

本實用新型采用的技術方案如下：

一種蒸發率檢測系統，包括：

電機、控制器、預設有蒸發鍍膜所需時間的計時器、用于模擬玻璃基板的檢測板、用于監測所述檢測板位置的第一位置傳感器、用于檢測蒸發率的分析平臺，以及多個轉軸；

所述轉軸排列設置在工藝腔的檢測板入口至工藝腔的檢測板出口之間，所述第一位置傳感器設置在所述轉軸旁，所述分析平臺安裝在所述檢測板出口的外側；

所述電機、所述計時器和所述第一位置傳感器分別與所述控制器電連接；

所述控制器通過所述電機驅動所述轉軸旋轉，使放置在所述轉軸上的所述檢測板行進，并且所述控制器在接收到所述第一位置傳感器發送的就位信號后，控制所述電機停轉并觸發所述計時器計時，停止行進的所述檢測板位于蒸發源的上方。

優選地，所述檢測板包括承載框，以及搭放在所述承載框上的檢測片；

所述承載框的尺寸與玻璃基板相同，且所述檢測片與玻璃基板的材質相同。

優選地，所述承載框上設有多個網格框架，所述檢測片為多個檢測單片；

每個所述網格框架上放置一片所述檢測單片。

優選地，所述檢測板還包括位置感應單元，所述位置感應單元設置在所述承載框的邊沿處，用于與所述第一位置傳感器感應配合。

優選地，所述蒸發率檢測系統還包括與所述控制器電連接的第二位置傳感器；

按照所述檢測板的行進方向，所述第二位置傳感器置于所述第一位置傳感器之前；

在第二位置傳感器感應到所述檢測板后，所述控制器控制所述電機減速。

優選地，所述蒸發率檢測系統還包括與所述控制器電連接的第三位置傳感器；

所述第三位置傳感器置于工藝腔的檢測板出口的內側；

在第三位置傳感器感應到所述檢測板后，所述控制器控制所述電機減速。

優選地，所述轉軸為磁流體轉軸。